中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab] pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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中華人民共和國國傢工業和信息化部 編

圖書標籤:

• 集成電路
• 芯片製造
• 矽片廠
• 設計規範
• 國傢標準
• GB50809-2012
• 工業建築
• 潔淨室
• 半導體
• 電子工程

齣版社： 中國計劃齣版社

ISBN：9158017796308

版次：1

商品編碼：11208696

包裝：平裝

外文名稱：Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab

開本：32開

齣版時間：2012-12-01

用紙：膠版紙

頁數：86

字數：76000

正文語

內容簡介

　　在規範編製過程中，編寫組根據我國矽集成電路芯片工廠的設計、建造和運行的實際情況，進行瞭大量調查研究，同時考慮我國目前集成電路生産的現狀，對國外的有關規範進行深入的研讀，廣泛徵求瞭全國有關單位與個人的意見，並反復修改，最後經審查定稿。
　　《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範》共分12章，主要內容包括：總則、術語、工藝設計、總體設計、建築與結構、防微振、冷熱源、給排水及消防、電氣、工藝相關係統、空間管理、環境安全衛生等。

內頁插圖

目錄

1 總則
2 術語

3 工藝設計
3.1 一般規定
3.2 技術選擇
3.3 工藝布局

4 總體設計
4.1 廠址選擇
4.2 總體規劃及布局

5 建築與結構
5.1 建築
5.2 結構
5.3 防火疏散

6 防微振
6.1 一般規定
6.2 結構
6.3 機械

7 冷熱源

8 給排水及消防
8.1 一般規定
8.2 給排水
8.3 消防
8.4 滅火器

9 電氣
9.1 供配電
9.2 照明
9.3 接地
9.4 防靜電
9.5 通信與安全保護
9.6 電磁屏蔽

10 工藝相關係統
10.1 淨化區
10.2 工藝排風
10.3 純水
10.4 廢水
10.5 工藝循環冷卻水
10.6 大宗氣體
10.7 乾燥壓縮空氣
10.8 真空
10.9 特種氣體
10.10 化學品

11 空間管理
12 環境安全衛生
本規範用詞說明
引用標準名錄
附：條文說明

精彩書摘

　　7.0.1 矽集成電路芯片廠房的冷熱源設置應滿足當地氣候、能源結構、技術經濟指標及環保規定，並應符閤下列要求：
　　1宜采用集中設置的冷熱水機組和供熱、換熱設備，供應應連續可靠；
　　2應采用城市、區域供熱和當地工廠餘熱；
　　3可采用燃氣鍋爐、燃氣熱水機組供熱或燃氣溴化鋰吸收式冷熱水機組供冷、供熱；
　　4可采用燃煤鍋爐、燃油鍋爐供熱，電動壓縮式冷水機組供冷和吸收式冷熱水機組供冷、供熱。
　　7.0.2 在需要同時供冷和供熱的工況下，冷水機組宜根據負荷要求選用熱迴收機組，並應采用自動控製的方式調節機組的供熱量。
　　7.0.3 冷熱源設備颱數和單颱容量應根據全年冷熱負荷工況閤理選擇，並應保證設備在高、低負荷工況下均能安全、高效運行，冷熱源設備不宜少於2颱。
　　7.0.4 過渡季節或鼕季需用一定量的供冷負荷時，可利用冷卻塔
　　作為冷源設備。
　　7.0.5 冷水機組的冷凍水供、迴水溫差不應小於5℃，在滿足工藝及空調用冷凍水溫度的前提下，應加大冷凍水供、迴水溫差和提高冷水機組的齣水溫度。
　　7.0.6 非熱迴收水冷式冷水機組的常溫冷卻水的熱量宜迴收利用。
　　7.0.7 當冷負荷變化較大時，冷源係統設備宜采用變頻調速控製。
　　7.0.8 電動壓縮式製冷機組的製冷劑應符閤有關環保的要求，采用過渡製冷劑時，其使用年限應符閤國傢禁用時間。
　　7.0.9 燃油燃氣鍋爐應選用帶比例調節燃燒器的全自動鍋爐，且每颱鍋爐宜獨立設置煙囪，煙囪的高度應符閤相關國傢標準及當地環保要求的規定。
　　7.0.10 鍋爐房排放的大氣汙染物，應符閤現行國傢標準《鍋爐大氣汙染物排放標準》GB 13271和《大氣汙染物綜閤排放標準》GB 16297的規定，以及所在地區有關大氣汙染物排放的規定。
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前言/序言

中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範

《矽集成電路芯片工廠設計規範》 引言 集成電路（IC）産業是國傢戰略性新興産業，其核心在於高性能、低功耗的芯片製造。芯片工廠（Fab）的建設是集成電路産業發展的基礎和關鍵。一個高效、安全、環保且麵嚮未來的芯片工廠設計，對於保障國傢半導體供應鏈安全、推動産業技術進步、提升國際競爭力至關重要。 本書《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範》的發布，標誌著我國在集成電路芯片工廠設計領域邁入瞭係統化、規範化的新階段。本規範旨在為矽集成電路芯片工廠的設計提供科學、嚴謹、可操作的技術依據，涵蓋瞭從廠區規劃、工藝布局、潔淨室設計、工藝設備安裝、公用工程係統、環保與安全防護、智能化管理等各個方麵，為新建、改建、擴建的矽集成電路芯片工廠的設計提供瞭一套全麵的技術指南。 本書內容概述 本書內容嚴謹，覆蓋麵廣，體現瞭集成電路芯片工廠設計領域的最新理念和技術要求。其核心內容主要圍繞以下幾個方麵展開： 1. 總則與術語： 明確瞭本規範的適用範圍、設計原則以及相關專業術語的定義，為規範的理解和執行奠定瞭基礎。這部分內容強調瞭芯片工廠設計應遵循的宏觀指導思想，如技術先進性、經濟閤理性、安全環保性、可持續發展等。 2. 廠區與建築物： 詳細規定瞭芯片工廠廠區的選址要求、總體布局原則，包括廠房的功能分區、交通組織、綠化隔離帶設置等。同時，對建築物的設計進行瞭規範，包括廠房結構、抗震設防、防火分區、建築材料的選擇等，以確保工廠的穩定性和安全性。 3. 工藝布局與潔淨室係統： 這是本書的重中之重。詳細闡述瞭工藝流程的優化布局，以最小化物料傳輸距離、降低交叉汙染風險。針對潔淨室係統，本書給齣瞭嚴格的設計要求，包括潔淨等級劃分、空氣淨化係統（HVAC）的設計參數（風速、換氣次數、壓差控製、溫濕度精度等）、潔淨室結構、材料選擇（牆體、地麵、天花闆、門窗等）、氣流組織模式（層流、紊流）以及人員與物料進入潔淨區的設計與管理。這部分是確保芯片製造過程中微粒控製、産品良率的關鍵。 4. 工藝設備安裝與管道係統： 規範瞭各類工藝設備（如光刻機、刻蝕機、離子注入機、薄膜沉積設備等）的安裝要求，包括設備基礎、空間預留、管綫連接（氣體、液體、電力、真空等）。詳細規定瞭工藝管道係統的設計，強調材料的兼容性、密封性、耐腐蝕性以及易於清潔性，以防止工藝介質的汙染。 5. 公用工程係統： 芯片工廠的穩定運行離不開穩定可靠的公用工程支持。本書詳細規範瞭包括高純水係統（UPW）、特種氣體供應係統（PSG）、化學品供應係統（CC）、廢氣處理係統（FGS）、廢水處理係統（WTS）、電力供應係統（UPS）、消防係統、壓縮空氣係統、真空係統等的設計要求。這些係統是支撐芯片製造工藝過程的關鍵，其設計水平直接影響工廠的生産效率、産品質量和運行成本。 6. 環境保護與安全防護： 強調瞭芯片工廠設計中環境保護的重要性，對生産過程中産生的廢氣、廢水、固體廢物的處理提齣瞭明確的技術要求，以達到國傢環保標準。同時，對工廠的安全防護進行瞭全麵規定，包括防火、防爆、防毒、防泄漏、電磁輻射防護、噪聲控製等，確保人員生命安全和設備財産安全。 7. 智能化與自動化： 隨著科技的進步，智能化和自動化在芯片工廠設計中的作用日益凸顯。本書也對相關方麵進行瞭前瞻性的規定，例如對工廠的監控係統、自動化控製係統、信息管理係統等的設計提齣瞭要求，以提升工廠的管理效率和生産靈活性。 本書的價值與意義 《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範》的頒布與實施，具有以下重要價值與意義： 提升設計水平，保障工程質量： 為設計人員提供瞭係統、權威的技術指導，避免瞭因設計失誤而導緻的工程質量問題，確保瞭芯片工廠的安全、穩定、高效運行。 促進技術進步，推動産業發展： 規範的設計標準能夠引導行業采用更先進的技術和理念，有助於我國集成電路産業的設計、建設和管理水平與國際接軌，加速産業升級。 保障生産安全與環境保護： 嚴格的安全環保設計要求，能夠有效防範潛在的風險，保護從業人員的健康，減少對環境的影響，實現産業的可持續發展。 降低建設與運營成本： 科學閤理的設計能夠優化資源配置，提高能源利用效率，減少返工和維護成本，從長遠來看能夠降低工廠的建設和運營成本。 支撐國傢戰略，保障供應鏈安全： 作為國傢標準，它為我國集成電路産業的自主建設提供瞭堅實的技術支撐，對於保障國傢半導體供應鏈的安全穩定具有不可替代的作用。 結語 《矽集成電路芯片工廠設計規範》是一部凝聚瞭我國集成電路行業智慧的權威性設計指南。本書內容詳實，條理清晰，充分體現瞭集成電路芯片工廠設計的復雜性和專業性。其發布實施，對於規範我國集成電路芯片工廠的建設，提升行業整體設計水平，促進産業健康快速發展，具有裏程碑式的意義。本書將成為集成電路設計、工程建設、運營管理等相關領域專業人士不可或缺的參考工具。

評分☆☆☆☆☆

我以一個對未來科技充滿憧憬的讀者的視角，去解讀《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》。這本書的每一條規範，都仿佛是為生産最尖端的電子産品而量身定做。我特彆關注瞭關於工藝布局和設備集成的章節。書中詳細闡述瞭如何科學閤理地布置各個生産工序的區域，以及如何將極其復雜和精密的生産設備高效地連接起來。這就像是在玩一個超大規模的拼圖遊戲，每一個環節都必須嚴絲閤縫，纔能最終完成芯片的製造。我試圖去理解，為什麼有些區域需要特彆的防震措施，為什麼有些管路需要特殊的材料，為什麼有些設備的擺放角度都經過瞭精確的計算。這一切的背後，都指嚮一個目標：最大程度地保證生産過程的穩定性和芯片的良品率。這本書讓我認識到，芯片製造是一個極其復雜且精密的係統工程，需要對每一個細節進行極緻的優化和控製。它不僅僅是一份設計指南，更是一種對工業生産極緻追求的精神體現，讓我對現代製造業的精細化和智能化有瞭更深刻的認識。

評分☆☆☆☆☆

這本書的名字雖然聽起來非常官方和嚴肅——《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》，但我作為一個對科技發展充滿好奇的普通讀者，拿到它的時候，內心其實是懷揣著一種既期待又略顯忐忑的心情。期待的是，我一直對現代科技的“幕後英雄”——那些精密到令人難以置信的芯片是如何誕生的感到好奇。想象中，能夠設計齣生産這些芯片的工廠，一定是充滿瞭尖端技術、嚴謹流程和未來感的。這本書的標題“國傢標準”和“設計規範”本身就暗示著它背後有著強大的技術支撐和嚴密的邏輯推理。我很好奇，在這些冰冷的文字和圖錶中，究竟隱藏著怎樣的智慧，纔能將微小的矽片變成我們日常生活中不可或缺的電子産品的大腦？我是不是能從中窺見一絲半導體産業的神秘麵紗，瞭解那些工程師們是如何從零開始，建造起一個又一個令人驚嘆的“芯片工廠”？這不僅僅是對一個行業生産流程的瞭解，更像是對現代工業文明奇跡的探索。我希望這本書能用一種我能理解的方式，哪怕是稍微簡化一些，來展現這個復雜世界的運作規律。同時，我也擔心，作為一本“國傢標準”，它會不會充斥著大量晦澀難懂的專業術語和枯燥的條文，讓我望而卻步，無法真正領會到其中的精髓。不過，正是這種挑戰，也激發瞭我進一步探索的動力，我想看看自己能否挑戰一下這種高門檻的知識，去嘗試理解那些構成我們現代生活基石的技術。

評分☆☆☆☆☆

當我拿到《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》這本書時，我腦海中浮現的是一幅幅充滿未來感的畫麵：巨大的廠房，無數精密的儀器，以及身穿白色防護服的工程師們。這本書的條目和圖示，似乎都在描繪著這樣一個場景。我嘗試去理解書中關於生産綫布局、設備連接、以及物料流動的規定。這就像是解開一個巨大的、精密的機械謎題。我很好奇，在那些密密麻麻的文字和圖錶中，究竟隱藏著怎樣的工程智慧，纔能確保每一枚芯片都能在最理想的環境下誕生。書中所提到的關於能源供應、水處理、以及廢棄物排放的規範，也讓我看到瞭一個現代化工廠對資源和環境的重視。這讓我意識到，建造一座芯片工廠，不僅僅是技術實力的體現，更是對可持續發展理念的踐行。這本書為我打開瞭一扇瞭解現代工業運作的窗口，讓我對那些支撐我們數字生活的“幕後英雄”有瞭更深的敬意。

評分☆☆☆☆☆

閱讀《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》的過程，就像是在進行一次深入的“工業考古”。我嘗試去理解那些關於廠房結構、設備安裝、管路敷設、以及安全防護的細節。書中所提到的各種材料的選擇標準、防火防爆的要求、以及應對緊急情況的預案，都讓我對建造一座能夠安全高效運行的芯片工廠有瞭更直觀的認識。我特彆關注瞭關於環境保護的部分，它詳細闡述瞭生産過程中産生的廢氣、廢水、廢棄物的處理方式，以及如何降低能耗和減少對周邊環境的影響。這讓我看到，即使是追求極緻效率的半導體産業，也必須肩負起可持續發展的責任。我開始設想，那些工程師們在進行設計時，不僅要考慮生産的效率和質量，還要將環保和安全放在同等重要的位置。這本書並非單純的技術手冊，它更像是一份關於如何構建一個高度集成化、智能化、並且對環境負責任的工業生産基地的藍圖。它讓我體會到，現代工業的發展，離不開一套完整的、經過充分論證的規範體係，而這套體係的背後，凝聚著無數科研人員和工程師的智慧與汗水。

評分☆☆☆☆☆

我以一個充滿好奇心的普通讀者的身份，試圖去理解《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》這本書所蘊含的知識。這本書的標題本身就給人一種專業、嚴謹的感覺。我嘗試去解讀其中關於廠房的結構設計、設備安裝、以及安全防護的各項條款。我瞭解到，建造一座能夠生産精密芯片的工廠，需要考慮到各種極端的情況，例如地震、火災、以及化學品的泄漏等。書中詳細闡述的關於環保和可持續發展的要求，也讓我看到瞭現代工業在追求效率的同時，也在努力實現與環境的和諧共處。這讓我不禁思考，在那些冰冷的文字和數字背後，凝聚著多少工程師的智慧和心血，纔能設計齣這樣一座能夠孕育齣我們數字世界核心的“心髒”的生産基地。它讓我對科技産業的幕後運作有瞭更深的敬意。

評分☆☆☆☆☆

我懷揣著對科技好奇心的普通讀者身份，翻閱著《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》。這本書的名稱本身就透露著一股權威和嚴謹。我試圖去理解書中關於生産設備選型、安裝調試、以及維護保養的指南。我瞭解到，生産芯片的設備，其精密程度和復雜性遠超我的想象，它們需要在一個極其穩定的環境中運行，任何微小的震動或乾擾都可能導緻生産失敗。因此，工廠的設計必須充分考慮到這些因素，為設備提供最佳的工作條件。書中對於能源、水源、以及氣體供應係統的要求，也讓我看到瞭一個龐大的工業體係是如何協同運轉的。這不僅僅是一本關於如何建造工廠的書，它更像是一部關於如何創造“無塵車間”的史詩，展現瞭人類在追求極緻精密過程中所展現齣的非凡智慧和創造力。

評分☆☆☆☆☆

當我翻開《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》時，一股濃厚的設計與工程氣息撲麵而來。這本書的結構極其嚴謹，仿佛每一頁都經過瞭精心的設計和校對。我開始嘗試去理解那些關於廠房布局、潔淨室等級、工藝流程、設備選型以及環境保護的各項規定。想象一下，一個能夠生産齣如此精密芯片的工廠，其內部環境的控製該有多麼苛刻？這本書詳細闡述瞭潔淨室的空氣過濾係統、溫度和濕度的精確控製、人員和物料的進齣流程，這一切都是為瞭最大限度地減少任何可能對矽片造成汙染的微塵顆粒。我甚至開始想象，工程師們是如何在一個完全封閉、近乎無菌的環境中，協同工作，確保每一個生産環節都精準無誤。書中所包含的圖錶和流程圖，雖然初看有些復雜，但仔細琢磨，就能發現其中蘊含著高度的邏輯性和係統性。這些圖錶不僅僅是簡單的示意，更是指導實際工程建設的重要依據。它讓我意識到，建造一個芯片工廠，絕不僅僅是蓋幾棟樓那麼簡單，而是需要對物理、化學、工程學等多個學科有深刻的理解，並將其融匯貫通。這本書讓我看到瞭一個行業在規則和標準下的有序發展，也讓我對那些默默無聞但至關重要的技術規範有瞭更深的認識，它們是支撐現代高科技産業發展的堅實基石。

評分☆☆☆☆☆

以一個旁觀者的視角，《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》呈現的是一個高度精密和係統化的工業建造藍圖。我嘗試去理解書中所描述的各種關於建築結構、場地選擇、以及基礎設施建設的要求。我瞭解到，一座芯片工廠的選址，需要考慮地質條件、交通便利性、以及公用設施的可用性等諸多因素。而建築本身，更是需要滿足極高的抗震、防火、以及防靜電等標準。書中詳細闡述瞭潔淨室的分級和設計要求，這讓我驚嘆於人類為瞭追求極緻的純淨所付齣的努力。我甚至開始想象，那些工程師們是如何在設計圖紙上，一絲不苟地規劃著每一寸空間，每一個管道，每一個連接點，力求將誤差控製在無限接近於零。這本書讓我看到瞭，科技的發展並非空中樓閣，而是建立在紮實、嚴謹的工業設計和工程實踐之上，而這些規範，正是這一切的基石。

評分☆☆☆☆☆

作為一名對科技前沿充滿好奇的普通人，我嘗試著從《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》中，去瞭解那些構建我們數字世界的“心髒”是如何被孕育的。書中關於廠房的整體規劃和各個功能區的劃分，給我留下瞭深刻的印象。我瞭解到，一個芯片工廠的建設，需要考慮的因素遠比我想象的要復雜得多。從原材料的進來到産品的齣庫，每一個環節都需要進行精心的設計和規劃。我特彆關注瞭書中關於潔淨室設計的相關內容，那簡直是科技的“無菌室”。為瞭保證芯片的純淨，工廠內部的空氣需要經過多重過濾，溫度和濕度也要保持在極其嚴格的範圍內。這讓我聯想到，工程師們為瞭實現這一目標，付齣瞭多少努力，又運用瞭多少先進的技術。這本書讓我意識到，我們現在使用的每一個電子設備，背後都凝聚著如此龐大的工業體係和嚴謹的設計規範。它就像是一扇窗，讓我得以窺見半導體産業的宏偉圖景，理解那些我們看不見的、但至關重要的技術細節。

評分☆☆☆☆☆

作為一名對現代科技發展充滿嚮往的讀者，當我接觸到《中華人民共和國國傢標準（GB 50809-2012）：矽集成電路芯片工廠設計規範 [Code for Design of Silicon Integrated Circuits Wafer Fab]》時，我腦海中立即浮現齣那些我們日常生活中不可或缺的電子産品，而它們的核心——芯片，正是誕生於這樣的工廠。我嘗試去理解書中關於廠房的選址、布局、以及工藝流程的詳細規定。這讓我瞭解到，建造一個芯片工廠，絕不僅僅是簡單的土木工程，而是需要將大量的物理、化學、工程學知識融會貫通。我特彆對書中關於潔淨室等級劃分以及空氣淨化係統的描述感到震撼。它讓我意識到，生産一枚微小的芯片，需要一個近乎無菌的環境，而實現這一點，需要投入多麼龐大的技術和資源。這本書讓我看到瞭，現代工業的基石，是由無數嚴謹的標準和規範支撐起來的，而這些規範，則是在一次次技術革新和實踐中不斷完善的。