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内容简介

　　半导体材料是微电子、光电子和太阳能等工业的基石，而其电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量，因此，半导体材料性能和结构的测试和分析，是半导体材料研究和开发的重要方面。《半导体材料测试与分析》主要介绍半导体材料的各种测试分析技术，涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容：包括四探针电阻率、无接触电阻率、扩展电阻、微波光电导衰减、霍尔效应、红外光谱、深能级瞬态谱、正电子湮没、荧光光谱、紫外-可见吸收光谱、电子束诱生电流、I-V和C-V等测试分析技术。
　　《半导体材料测试与分析》可供大专院校的半导体物理、材料与器件、材料科学与工程和太阳能光伏等专业的高年级学生、研究生和教师作教学用书或参考书，也可供从事相关研究和开发的科技工作者和企业工程师参考。

内页插图

目录

前言
第1章 电阻率测试
第2章 扩展电阻测试
第3章 少数载流子寿命测试
第4章 少数载流子扩散长度测试
第5章 霍尔效应测试
第6章 红外光谱测试
第7章 深能级瞬态谱测试
第8章 正电子湮没谱测试
第9章 光致荧光谱测试
第10章 紫外-可见吸收光谱测试
第11章 电子束诱生电流测试
第12章 I-V和C-V测试

前言/序言

　　半导体材料是信息产业的基础，是微电子、光电子以及太阳能等工业的基石，对国家工业、科技和国防的发展具有至关重要的意义。毫无疑问，半导体材料的电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量，而半导体材料这些性能又取决于其掺杂和晶格的完整性，因此，半导体材料性能和结构的测试和分析，是半导体材料研究和开发的重要方面。
　　目前，我国以微电子工业为代表的高科技产业蓬勃发展，已经成为国际微电子的主要产业基地之一；同时，我国的太阳能产业也发展迅速，数百家太阳能电池器件和材料企业涉及其中，其太阳能电池产量已经居世界一位，是我国重要的新兴高科技产业；另外，我国半导体照明等光电子和其他新型半导体材料、器件产业也方兴未艾。因此，半导体材料的研究、开发和应用，成为国家科技、工业和国防领域优先发展的重要方向，这些对半导体材料的测试与分析都有重要的需求。随着技术的进步，无论是半导体材料的测试技术、测试原理，还是应用领域，都将会有很大的变化和发展。本书主要描述半导体材料的测试分析技术，介绍各种测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和分析实例，主要包括载流子浓度（电阻率）、少数载流子寿命、发光等性能以及杂质和缺陷的测试，其测试分析技术涉及四探针电阻率测试、无接触电阻率测试、扩展电阻、微波光电导衰减测试、霍尔效应测试、红外光谱测试、深能级瞬态谱测试、正电子湮没测试、荧光光谱测试、紫外，可见吸收光谱测试、电子束诱生电流测试、L-V和C-V等。本书着重介绍半导体材料的专门的测试分析技术，特别是半导体材料电学性能和光学性能的测试。这些测试技术（如Hall效应等）在普通的材料测试和分析著作中一般都没有介绍；而深能级瞬态谱测试、正电子湮没测试和电子束诱生电流测试技术在国内几乎没有专门著作介绍。至于半导体材料的结构的一般测试分析技术，如透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、光学显微镜、X射线衍射仪、光电子能谱仪等等，其原理和应用在其他通用型材料测试分析技术和原理的著作中会涉及，在本书中就没有加以介绍。本书在国内外最近研究成果的基础上，阐述了半导体材料现代测试分析的主要技术，每一种技术都描述了基本原理、仪器构造原理、样品制备和实验测试实例等内容。在结构上，以每一种测试技术为单元，单章独立讲述。第l-5章讲述半导体材料电学性能的测试，第6～11章是半导体材料杂质和缺陷的测量（包括发光性质的测量），第12章是半导体器件的基本电学性质测量。
　　本书由陈加和（第1章，电阻率测试）、杨德仁、樊瑞新（第2章，扩展电阻测试）、王维燕（第3章，少数载流子寿命测试）、朱鑫（第4章，少数载流子扩散长度测试）、陈培良（第5章，霍尔效应测试）、崔灿、李明（第6章，红外光谱测试）、余学功（第7章，深能级瞬态谱测试）、皮孝东（第8章，正电子湮没谱测试）、李东升（第9章，光致荧光谱测试）、张辉（第10章，紫外.可见吸收光谱测试）、陈君（第11章，电子束诱生电流测试）和汪雷（第12章，I-V和C-V测试）撰写，由杨德仁全书审阅、修改和统稿。
　　本书的撰写者主要是浙江大学硅材料国家重点实验室工作在第一线的中青年研究人员，包括多位在国外著名大学、研究所工作的海外留学人员，他们都长期操作和使用过相关测试仪器和设备。本书是撰写者在科研工作总结和积累的基础上，根据国际研究和测试分析技术的新进展，共同编著而成的。特别是，书中提供了大量的测试应用实例，可为读者利用相关测试原理和技术提供直接的帮助，相信会对相关专业的研究人员、工程技术人员、本科生和研究生能提供较好的参考。
　　由于撰写者的经验、水平和知识面的限制，本书可能会存在一些错误，欢迎读者批评指教，以便今后改正。
　　杨德仁
　　2009年5月于求是园

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