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田民波，李正操 著

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发表于2025-06-05

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商品介绍


出版社： 清华大学出版社
ISBN：9787302274834
版次：1
商品编码：11874803
品牌：清华大学
包装：平装
开本：16开
出版时间：2012-03-01
用纸：胶版纸

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书籍描述

内容简介

　　薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。

前言/序言


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读者评价

评分☆☆☆☆☆

好书，用来上课教学生，清华大学的

评分☆☆☆☆☆

很好很给力

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帮朋友买的，书不错

评分☆☆☆☆☆

质量真的不行

评分☆☆☆☆☆

没有细看，随手翻看了一下，应该是我需要了解的内容。还有就是京东的配送又快又好。

评分☆☆☆☆☆

送货快，一如既往的支持！

评分☆☆☆☆☆

不错，内容很丰富，帮助很大

评分☆☆☆☆☆

非常不错，外观包装很好，京东物流很棒好评！

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