店鋪： 文軒網旗艦店
齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
商品編碼：1211272850
齣版時間：2014-03-01
具體描述
作 者:Reza Ghodssi 著作 黃慶安 等 譯者 定 價:198 齣 版 社:東南大學齣版社 齣版日期:2014年03月01日 頁 數:966 裝 幀:平裝 ISBN:9787564140533 ●1 MEMS設計流程2 半導體和介質材料的添加工藝
●3 金屬材料的添加工藝
●4 聚閤物材料的添加工藝
●5 壓電材料的添加工藝：壓電MEMS
●6 形狀記憶閤金材料與工藝
●7 微機械加工中的乾法刻蝕
●8 MEMS濕法腐蝕工藝和過程
●9 MEMS光刻和微加工技術
●10 MEMS中的摻雜工藝
●11 圓片鍵閤
●12 MEMS封裝材料
●13 錶麵處理及平坦化
●14 MEMS工藝集成
●……
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●3 金屬材料的添加工藝
●4 聚閤物材料的添加工藝
●5 壓電材料的添加工藝：壓電MEMS
●6 形狀記憶閤金材料與工藝
●7 微機械加工中的乾法刻蝕
●8 MEMS濕法腐蝕工藝和過程
●9 MEMS光刻和微加工技術
●10 MEMS中的摻雜工藝
●11 圓片鍵閤
●12 MEMS封裝材料
●13 錶麵處理及平坦化
●14 MEMS工藝集成
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內容簡介
微機電係統(mems)技術是一個快速發展的前沿技術領域，使用的材料種類多、工藝方法復雜，需要係統地歸納、分析與整理，以便於讀者查閱。《mems材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著，內容包括mems材料，mems加工工藝和製造工藝，mems工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。本手冊適閤相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。用戶評價
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