超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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陈学东 等 著

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• 气浮定位工作台
• 超精密制造
• 气浮系统
• 动力学
• 控制
• 机械工程
• 精密仪器
• 振动控制
• 定位技术
• 微纳米定位

出版社： 华中科技大学出版社

ISBN：9787560946108

版次：1

商品编码：10343566

包装：平装

开本：大32开

出版时间：2008-01-01

用纸：胶版纸

页数：223

字数：180000

内容简介

本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。
本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。

目录

0 绪论
0.1 超精密气浮定位工作台简介
0.2 超精密定位工作台的发展概况
0.2.1 超精密定位工作台的发展过程
0.2.2 国外超精密定位工作台技术的现状
0.2.3 国内超精密定位工作台技术的现状
0.3 超精密定位工作台的关键技术
0.3.1 定位工作台的直线导向技术
0.3.2 定位工作台的控制技术
0.3.3 定位工作台的驱动技术
0.3.4 定位工作台的测量技术
0.3.5 定位工作台的材料
0.4 本书的研究目的和主要内容
0.4.1 本书的研究目的
0.4.2 本书的主要内容
1 永磁同步直线电动机的基本原理及其控制
1.1 永磁同步直线电动机的结构和工作原理
1.1.1 基本结构
1.1.2 工作原理
1.2 直线电动机的建模与分析
1.2.1 永磁同步直线电动机的数学模型
1.2.2 永磁同步直线电动机中的磁场
1.2.3 永磁同步直线电动机的电磁参数
1.2.4 永磁同步直线电动机的d-a印轴模型和推力
1.3 交流永磁同步直线电动机的控制
1.3.1 传统控制策略
1.3.2 现代控制策略
1.3.3 智能控制策略
1.4 本章小结
2 气浮轴承模型及有限元分析法
2.1 静压气浮支承润滑系统概述
2.1.1 静压气浮支承润滑系统的组成
2.1.2 静压气浮轴承的节流形式
2.1.3 静压气浮轴承的节流原理
2.1.4 气浮导轨的类型
2.2 气浮轴承润滑问题的描述
2.2.1 小孔流量节流公式
2.2.2 雷诺方程式
2.2.3 气浮轴承润滑问题的变分表示法
2.3 用有限元法解气浮轴承的静压润滑问题
2.3.1 有限元的划分与插值函数
2.3.2 气浮轴承润滑方程的有限元法
2.3.3 有限元的计算过程
2.4 气浮轴承的静压润滑稳定性
2.4.1 影响气浮轴承稳定性的因素
2.4.2 提高气浮轴承稳定性的措施
2.5 本章小结
3 气浮轴承动力学建模与参数辨识
3.1 气浮轴承的主要性能参数
3.1.1 气浮轴承的静态特性及主要参数
3.1.2 气浮轴承的动态特性及主要参数
3.2 气浮轴承性能参数的仿真计算与辨识
3.2.1 气浮轴承性能参数的辨识方法
3.2.2 矩形气浮轴承的特性及主要参数辨识
3.2.3 环形气浮轴承的特性及主要参数辨识
3.3 气浮轴承参数的实验辨识方法
3.3.1 静态测试方法
3.3.2 动态测试方法
3.4 本章小结
4 气浮轴承动力学性能参数分析
4.1 结构形状对性能参数的影响
4.1.1 分析方法
4.1.2 仿真模型
4.1.3 有限元计算结果与分析比较
4.1.4 结构形状与性能参数之间的关系
4.2 结构设计对性能参数的影响
4.2.1 节流孔直径的影响
4.2.2 节流孔高度的影响
4.2.3 压力腔高度的影响
4.2.4 压力腔宽度的影响
4.2.5 压力腔长度的影响
4.2.6 结构设计参数与性能参数之间的关系
4.3 工艺参数对性能参数的影响
4.3.1 气膜厚度的影响
4.3.2 供气压力的影响
4.3.3 工艺参数与性能参数之间的关系
4.4 本章小结
5 超精密气浮定位工作台动力学特性研究
5.1 气浮定位工作台的数学模型
5.1.1 气浮定位工作台的结构
5.1.2 气浮定位工作台的动力学模型
5.2 动力学参数的求解
5.3 动态特性的仿真分析
5.3.1 系统幅值的仿真计算
5.3.2 固有频率的计算
5.3.3 外力对定位工作台动态特性的影响
5.3.4 刚度对定位工作台动态特性的影响
5.4 超精密气浮定位工作台动态参数的实验研究
5.4.1 非气浮状态下的动态特性实验结果与分析
5.4.2 气浮状态下的动态特性实验结果与分析
5.4.3 基座中心至气浮轴承中心的传递函数分析
5.4.4 y向直线电动机的定子至动子的传递函数分析
5.4.5 频率对刚度参数灵敏度的影响
5.4.6 直线电动机系统多参数灵敏度分析与优化
5.5 本章小结
6 超精密气浮定位工作台定位精度研究
6.1 气浮定位工作台直线运动的数学模型
6.2 混合趋近律的滑模变结构控制模型的建立与仿真
6.2.1 滑动模态及滑模变结构控制的基本概念
6.2.2 滑模变结构控制仿真模型的建立
6.2.3 基于混合趋近律的滑模变结构控制方法
6.2.4混合趋近律的滑模变结构控制方法的仿真
6.3 定位工作台输出位移的仿真实验与精度分析
6.3.1 输出位移的仿真实验
6.3.2 控制精度的分析
6.4 超精密气浮定位工作台的定位精度实验
6.4.1 实验系统及测量系统
6.4.2 水平直线度的实验结果与分析
6.4.3 垂直直线度的实验结果与分析
6.4.4 非气浮状态下的定位精度实验结果与分析
6.4.5 气浮状态下的定位精度实验结果与分析
6.5 本章小结
参考文献

精彩书摘

0 绪论
超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。
0.1 超精密气浮定位工作台简介
微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如：定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高；长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精度要求也更勾苛刻，即定位工作台的行程受到现有加工和安装精度的限制；自动化程度与可靠性也是一对矛盾，自动化程度越高，系统越复杂，实现高的可靠性就越Ⅲ难，间时，高精度、高速度、长行程对控制系统的实现也提出了挑战。而在这众多的矛盾中，最突出的是如何消除精密定位工作台运动部件间的摩擦。解决这一矛盾的有效方法之一就是采用气浮技术，因而也就出现了基于气浮支承和直线电动机驱动技术的超精密、长行程气浮定位工作台。

前言/序言

超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制 一、 引言：超越传统，迈向极致精度 在现代精密制造、科学实验以及尖端科技领域，对定位精度的要求已达到前所未有的高度。从半导体芯片的制造、高能物理实验中的粒子束控制，到光学精密仪器的组装校准，乃至航天器部件的精密加工，任何微小的误差都可能导致整个系统的失败。传统的机械接触式定位系统，由于摩擦、磨损、热膨胀等固有缺陷，在达到纳米乃至亚纳米级定位精度时，其性能瓶颈愈发凸显。 正是在这样的时代背景下，气浮技术应运而生，并迅速发展成为实现超精密定位的颠覆性解决方案。气浮定位工作台，通过在运动部件与固定基座之间形成一层薄而稳定的气膜，实现了运动部件与空气的“非接触”运动。这不仅消除了摩擦和磨损，更重要的是，它能够极大地降低动态和静态的误差源，从而为实现极高的定位精度提供了可能。 本书《超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制》深入探索了气浮定位工作台这一关键技术的核心原理、关键技术以及未来发展方向。它并非仅仅是对现有技术的简单罗列，而是聚焦于气浮系统 动力学 和 控制 这两大核心要素，旨在为读者构建一个全面、深入且具有前瞻性的知识体系。通过对气浮系统内在动力学特性的深刻理解，以及在此基础上发展出的先进控制策略，本书旨在揭示如何突破现有技术的局限，实现真正意义上的超精密运动。 二、 气浮系统的物理根基：流体力学与弹性耦合的精妙平衡 气浮系统的核心在于利用压缩空气在其运动部件（通常称为“浮子”）和静止基座（通常称为“导轨”或“基盘”）之间形成一层压力梯度。这层气膜的形成和维持，是流体力学原理在微观尺度下的精彩体现。 1. 气膜压力场的生成与分布： 当压缩空气被引入气浮支承结构（如气浮轴承、气浮导轨）时，会在浮子和基座之间被压缩并形成高压气膜。气膜的压力分布并非均匀，而是随着气体的流动和边界条件的改变而变化。纳维-斯托克斯方程（Navier-Stokes equations）是描述气膜内流体运动和压力分布的基本方程。在气浮系统中，通常会简化这些方程，例如在低速或特定几何条件下，会采用雷诺方程（Reynolds equation）来描述气膜压力。雷诺方程考虑了气体的粘性、可压缩性以及运动部件的相对运动，能够预测不同结构类型（如平面支承、圆柱支承）下的气膜压力分布。 2. 浮子的动力学行为： 浮子在气膜支撑下的运动，是一个复杂的动力学过程。当外界扰动力（如冲击、振动、负载变化）作用于浮子时，气膜的压力会迅速调整以抵抗这些扰动。这种自适应性是气浮系统能够实现高稳定性和高精度的关键。浮子的动力学模型需要考虑其质量、惯性、阻尼以及气膜提供的弹性支撑力。 弹性支撑： 气膜提供的支撑力可以被等效为一个非线性弹性元件，其刚度与气膜厚度、气体压力、支承面积以及结构设计密切相关。例如，通过改变气孔的孔径、孔数、孔的分布以及气腔的尺寸，可以调整气浮系统的静刚度和动刚度。 阻尼特性： 气膜的流动本身也带来一定的阻尼作用，能够吸收和耗散能量，抑制振动。这种阻尼特性与气体的粘性、气膜厚度以及相对速度有关。精确理解和量化气膜的阻尼特性，对于设计具有良好动态响应的定位工作台至关重要。 3. 结构弹性体的耦合效应： 在超精密应用中，工作台的整体结构也扮演着重要角色。材料的弹性形变、结构的振动模态以及热膨胀效应都可能引入误差。气浮系统的动力学行为与其所安装的结构基座的动力学特性是相互耦合的。一个刚性不足的基座可能会放大由气浮系统引入的微小扰动，而一个设计良好的结构则能提供稳定的平台，使气浮系统的优势得到充分发挥。本书将深入分析材料选择、结构设计对于整体系统刚度和振动特性的影响，以及如何通过结构优化来最小化因结构弹性体引起的定位误差。 三、 精准控制的艺术：从模型到反馈的智慧 仅有稳定的气膜支撑是不够的，实现精确的定位需要一套先进的控制系统来引导和校正浮子的运动。气浮系统的控制是一个融合了精密测量、先进控制理论与实时计算的复杂工程。 1. 高精度位移传感技术： 为了实现精确控制，必须能够实时、高精度地测量浮子的位置和姿态。本书将探讨多种先进的位移传感技术，包括： 电容式位移传感器： 利用电容值随距离变化的原理，能够实现纳米级的测量精度。 电感式位移传感器： 同样具有高精度和良好的稳定性。 激光干涉仪： 能够实现亚纳米级的测量精度，是实现最高精度定位的标准。 光学编码器： 在某些应用中，也能提供高精度的角度或直线位移信息。 视觉测量系统： 对于复杂目标的定位，视觉系统也提供了灵活的解决方案。 传感器的选型、布置以及标定，直接影响到控制系统的性能。本书将详细介绍各种传感器的原理、优缺点以及在气浮定位工作台中的应用考量。 2. 模型预测控制（MPC）与自适应控制： 传统的PID控制在处理气浮系统的高度非线性、时变以及耦合特性时，往往显得力不从心。因此，本书将重点介绍更先进的控制策略： 模型预测控制（MPC）： MPC是一种先进的控制方法，它利用系统的动态模型来预测未来一段时间内的系统行为，并在预测范围内优化控制输入，以达到预期的性能目标（如最小化误差、最小化能量消耗）。对于气浮系统，MPC能够有效地处理其非线性特性，预测气膜压力的变化，并提前调整控制指令，以实现更平滑、更精确的运动。 自适应控制： 气浮系统的性能会受到环境温度、负载变化、气体压力波动等因素的影响，这些因素可能导致系统参数发生变化。自适应控制策略能够实时地监测系统性能，并根据系统参数的变化自动调整控制器参数，以保证系统在各种工况下都能保持最优的控制效果。 滑模控制： 对于具有外部扰动和参数不确定性的系统，滑模控制能够提供鲁棒的控制性能。其原理是通过设计一个“滑模面”，迫使系统的状态轨迹趋向并保持在该滑模面上，从而实现对扰动的抑制。 模糊逻辑控制和神经网络控制： 这些基于人工智能的控制方法，能够处理复杂的、难以精确建模的系统，并从中学习最优的控制策略。 3. 多自由度耦合控制与解耦： 气浮定位工作台通常具有多个自由度的运动，例如X、Y、Z轴的平移以及绕X、Y、Z轴的转动。这些自由度的运动是相互耦合的，一个方向上的运动可能会影响其他方向。实现精确的多自由度定位，需要有效的耦合控制策略。本书将探讨如何通过设计控制算法，实现对各个自由度的有效控制，并在此基础上发展出解耦控制技术，使得对某一自由度的控制不会对其他自由度产生不利影响，从而实现独立的、高精度的多轴联动。 4. 干扰抑制与鲁棒性设计： 在实际应用中，气浮定位工作台会面临各种外部干扰，如环境振动、空气流动、机械冲击等。控制系统需要具备强大的干扰抑制能力。本书将深入研究鲁棒控制理论，以及如何在控制器设计中充分考虑这些干扰因素，确保工作台在复杂环境中依然能够保持高精度和高稳定性。 四、 核心技术专题：创新驱动，技术突破 本书不仅关注理论，更致力于揭示实现超精密气浮定位工作台所需的关键技术创新。 1. 新型气浮支承结构设计： 传统的平板式、柱塞式气浮支承已经逐渐发展出更多创新的结构形式。例如： 柔性气浮支承： 通过引入柔性材料，结合气浮原理，能够进一步提高系统的柔顺性和对表面不平整的适应性，从而实现更高的定位精度。 动态可调气膜支承： 通过主动控制气孔的节流或阀门的开关，实时调整气膜压力和刚度，以适应不同的负载和运动需求。 微纳尺度气浮技术： 随着微纳加工技术的发展，将气浮技术应用于微型化、集成化的系统中，为微纳制造和测量开辟新的道路。 混合支撑技术： 将气浮技术与其他支撑技术（如磁悬浮）相结合，发挥各自优势，实现更宽范围的性能提升。 2. 超精密传动与驱动技术： 即使有了先进的气浮系统，也需要与之匹配的超精密传动和驱动技术来引导运动。 压电陶瓷驱动器： 能够实现纳米级的微位移和高刚度，是实现高精度定位的理想驱动源。 直线电机： 具有无接触、高精度、高速度的特点，能够直接驱动工作台进行直线运动。 精密齿轮传动与谐波减速器： 在某些应用中，仍然需要高精度的机械传动装置，本书将探讨如何优化这些传动装置以减小传动误差。 精密丝杠副： 经过精密加工的丝杠副，也能实现较高的定位精度。 3. 集成化与智能化设计： 未来的气浮定位工作台将更加强调集成化和智能化。 传感器与执行器的集成： 将高精度传感器和微型驱动器集成到气浮结构中，实现更紧凑、更高效的系统。 智能诊断与自修复： 通过嵌入式智能系统，对工作台的运行状态进行实时监测，预测潜在故障，并实现一定程度的自诊断和自修复。 人机交互与远程控制： 更加友好的用户界面和强大的远程控制能力，方便用户操作和管理。 4. 材料科学与制造工艺的革新： 超精密气浮定位工作台的性能，离不开先进的材料和制造工艺。 低热膨胀系数材料： 如超因瓦合金、零膨胀玻璃等，用于制造工作台基座和浮子，以减小热误差。 高刚性、低阻尼材料： 用于制造结构部件，以提高系统的刚度和降低内部振动。 微纳加工技术： 如光刻、蚀刻、精密车削、磨削等，是实现复杂气浮结构和高精度表面加工的关键。 五、 应用领域展望：赋能未来科技 《超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制》所涵盖的技术，将有力推动诸多前沿科技的发展。 半导体制造： 在光刻机、晶圆加工设备中，纳米级甚至亚纳米级的定位精度是实现高密度集成电路制造的关键。 精密光学与计量： 高精度光学元件的加工、组装和检测，需要极其稳定的平台来支撑。 生物技术与生命科学： 在基因测序、细胞操控、显微成像等领域，微观尺度的精确运动至关重要。 空间科学与天文观测： 望远镜的指向精度、卫星载荷的精确部署，都离不开超精密定位技术。 基础科学研究： 如高能物理实验、精密测量仪器等，为探索未知世界提供精确的工具。 先进制造： 如3D打印、精密焊接、微纳机器人等，都需要高精度的定位和运动控制。 六、 结语：精益求精，永无止境 本书旨在为从事超精密工程、机械工程、自动化控制、航空航天、精密仪器等领域的科研人员、工程师和学生提供一个全面、深入的学习平台。我们相信，通过对气浮系统动力学和控制原理的深刻理解，以及对相关核心技术的掌握，读者能够站在巨人的肩膀上，不断探索和创新，为实现更高水平的精密制造和科学研究贡献力量。超精密的世界，挑战与机遇并存，精益求精，方能触及无限可能。

评分☆☆☆☆☆

拿到这本书，首先映入眼帘的是其扎实的研究基础。书中的内容并非泛泛而谈，而是建立在严谨的科学理论之上，通过对气浮系统动力学特性的深入挖掘，揭示了其内在的运动规律和影响因素。我注意到书中使用了大量的数学模型和仿真分析，这表明作者对这一技术的研究是具有前瞻性和科学性的。从流体力学的基本原理出发，到空气动力学在气浮系统中的具体应用，再到如何通过精确的动力学建模来预测和描述系统的响应，每一步都显得逻辑严谨，层层递进。我尤其对书中关于提高定位精度的探讨感到兴趣，书中是否提出了一些创新性的解决方案，能够克服传统气浮系统在动态响应和抗干扰能力方面的不足？这是否意味着我们可以期待更稳定、更可靠的超精密定位平台？此外，控制部分的内容也令人期待，在如此高精度的系统中，微小的扰动都可能导致严重的定位误差，因此，先进的控制技术对于保证系统的性能至关重要。我希望书中能够提供一些关于鲁棒控制、自适应控制或者其他先进控制方法的应用案例，来展示如何有效地解决这些挑战。

评分☆☆☆☆☆

从书名来看，这本书就透露出一种非常“硬核”的技术范畴，充满了科学的严谨性和工程的实用性。“超精密气浮定位工作台”这个概念本身就足够吸引人，它代表了当今制造业在精度控制方面所能达到的最高水平。我一直对那些能够实现微米甚至纳米级别定位的设备感到惊叹，而气浮技术无疑是实现这一目标的关键技术之一。我特别好奇书中是如何阐述气浮系统的“动力学”的。是仅仅停留在理论层面，还是有深入的数学建模和仿真分析？它是否会解释清楚，气浮系统中空气流动的复杂性如何影响其运动特性？而“控制”部分，更是这本书的灵魂所在。我预想，这本书会详细介绍各种先进的控制算法，以及如何将这些算法应用于气浮定位工作台中，以达到更高的精度和稳定性。例如，书中是否会讨论如何处理外部干扰、如何实现快速的动态响应，以及如何确保系统的长期可靠性？对于想要深入了解精密仪器制造、半导体设备、光学加工等领域的技术人员来说，这本书无疑提供了一个宝贵的学习平台，能够帮助他们掌握这项关键技术的核心知识。

评分☆☆☆☆☆

这本书的封面设计就透露着一种严谨而专业的味道，深邃的蓝色背景搭配着银色的立体字，仿佛预示着书中将要探索的技术是多么精妙和尖端。虽然我还没有来得及深入阅读，但光是书名“超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制”就足以让我产生无限的好奇。我一直对精密制造和自动化领域怀有浓厚的兴趣，而“超精密”这三个字更是直接击中了我的兴奋点。想象一下，能够将物体以如此高的精度进行定位，这背后究竟蕴含着怎样的科学原理和工程智慧？特别是“气浮系统”这个词，它勾勒出一种无接触、低摩擦的工作模式，这对于追求极致性能的设备来说，无疑是理想的解决方案。而“动力学与控制”则指向了实现这种精密定位的关键技术，如何让气浮系统在动态环境下依然保持稳定和精确，这其中的挑战想必不小。这本书给我的第一印象是，它不仅仅是一本介绍技术的工具书，更像是一扇通往高科技制造前沿的窗口，让我有机会一窥那些支撑着现代工业发展、甚至改变我们生活方式的幕后英雄。我迫不及待地想知道，作者是如何将如此复杂的技术，用清晰易懂的语言呈现给读者的，尤其是对于我这样非专业背景但充满求知欲的读者来说，这本书是否能真正点亮我心中的迷雾，让我理解这项技术的奥秘，这本身就是一个令人期待的旅程。

评分☆☆☆☆☆

这本书在我手中，仿佛是一本通往未来制造的“秘籍”。“超精密”这个词汇本身就带着一种神秘感和吸引力，它暗示着这本书将带领读者进入一个前所未有的微观世界，去探索那些对精度有着极致要求的科技前沿。我尤其对“气浮系统”的动力学描述部分感到好奇。我知道气浮技术能够实现几乎零摩擦的运动，但如何在如此精密的设备上实现精准的定位和控制，这其中的学问一定非常深奥。这本书是否能够解释清楚，气浮系统在不同工作状态下的稳定性是如何保证的？是否存在一些特殊的结构设计或者工作原理，能够让它在微小的扰动下依然保持稳定？而“控制”部分，更是让我充满了期待。我明白，要实现“超精密”的定位，仅仅有良好的物理基础是不够的，还需要一套精妙绝伦的控制系统来“驾驭”它。我非常想知道，书中是如何讲解如何设计和实现这些控制策略的，例如，是否涉及到一些高级的反馈控制理论，或者是如何利用人工智能等新技术来优化控制效果。这本书是否能够让我这个对精密机械和自动化充满好奇的读者，也能领略到这项技术的精髓？

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初步翻阅这本书，我立刻被它所呈现出的知识深度和技术广度所震撼。虽然我尚未能完全消化其中的每一个公式和模型，但它所构建的关于超精密气浮定位工作台的理论框架，却如同建立起一座宏伟的知识殿堂。从对气浮系统基本原理的深入剖析，到其在不同工况下的动力学行为的精细刻画，再到先进控制策略的设计与实现，这本书无疑为我提供了一个系统性的学习路径。我特别关注了书中对气浮系统稳定性分析的部分，其中涉及到的各种数学工具和物理概念，着实让我领略到了工程科学的严谨与魅力。而控制理论的应用，更是将理论研究推向了实践的顶峰，如何通过智能的算法和精密的反馈机制，来驾驭如此敏感且要求严苛的系统，这其中的智慧闪光点，让人叹为观止。这本书并没有回避技术上的难点，反而以一种挑战者的姿态，逐一攻克，让我看到了作者在这一领域深厚的积累和非凡的洞察力。对于渴望了解精密机械与自动化前沿的工程师和研究者来说，这绝对是一部不可或缺的参考著作，它不仅能提供宝贵的理论知识，更能启发解决实际工程问题的思路。

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气浮轴承分析，好像是写文章，内容不具体意义不太大

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读书是一种乐趣,一种情操,一种向往世界古往今来的为人和名人求救的方法,一种和他们展来讨论的方式,一封出席各种社会活动体验各种生活,结识各种人物的邀请信.一张迈进科学殿堂和未来世界的入场券,一股丰富自己的强大力量.这个名言是我们最著名的作家王梓坤写的.他让懂得了什么是读书。小的时候，我只喜欢爱看小人书，漫画，因为他们都很好笑，有着迷人的魅力，渐渐地，渐渐地我就开始画漫画了，但是结果还是让老师收走，被爸爸妈妈撕掉，还要打。唉-------真倒霉！初高中，就从喜欢武侠小说，梁羽生、金庸、古龙等等，特别是金庸的小说，本本都看了有些还看了好多遍，收益匪浅。长得之后，我什么类型的书都看，只要是我喜欢的。特别是陈学东，等著的超精密气浮定位工作台技术气浮系统动力学与控制很值得看，看了收益很大，书的内容直得一读，阅读了一下，写得很好，本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。，内容也很丰富。，一本书多读几次，0绪论超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。0.1超精密气浮定位工作台简介微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精

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还没读 包装还可以！

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读书是一种乐趣,一种情操,一种向往世界古往今来的为人和名人求救的方法,一种和他们展来讨论的方式,一封出席各种社会活动体验各种生活,结识各种人物的邀请信.一张迈进科学殿堂和未来世界的入场券,一股丰富自己的强大力量.这个名言是我们最著名的作家王梓坤写的.他让懂得了什么是读书。小的时候，我只喜欢爱看小人书，漫画，因为他们都很好笑，有着迷人的魅力，渐渐地，渐渐地我就开始画漫画了，但是结果还是让老师收走，被爸爸妈妈撕掉，还要打。唉-------真倒霉！初高中，就从喜欢武侠小说，梁羽生、金庸、古龙等等，特别是金庸的小说，本本都看了有些还看了好多遍，收益匪浅。长得之后，我什么类型的书都看，只要是我喜欢的。特别是陈学东，等著的超精密气浮定位工作台技术气浮系统动力学与控制很值得看，看了收益很大，书的内容直得一读，阅读了一下，写得很好，本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。，内容也很丰富。，一本书多读几次，0绪论超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。0.1超精密气浮定位工作台简介微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精

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经常有促销活动，购书真便宜～赞！超值！

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不错价格便宜，内容也挺好

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读书是一种乐趣,一种情操,一种向往世界古往今来的为人和名人求救的方法,一种和他们展来讨论的方式,一封出席各种社会活动体验各种生活,结识各种人物的邀请信.一张迈进科学殿堂和未来世界的入场券,一股丰富自己的强大力量.这个名言是我们最著名的作家王梓坤写的.他让懂得了什么是读书。小的时候，我只喜欢爱看小人书，漫画，因为他们都很好笑，有着迷人的魅力，渐渐地，渐渐地我就开始画漫画了，但是结果还是让老师收走，被爸爸妈妈撕掉，还要打。唉-------真倒霉！初高中，就从喜欢武侠小说，梁羽生、金庸、古龙等等，特别是金庸的小说，本本都看了有些还看了好多遍，收益匪浅。长得之后，我什么类型的书都看，只要是我喜欢的。特别是陈学东，等著的超精密气浮定位工作台技术气浮系统动力学与控制很值得看，看了收益很大，书的内容直得一读，阅读了一下，写得很好，本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。，内容也很丰富。，一本书多读几次，0绪论超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。0.1超精密气浮定位工作台简介微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精

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还行吧，这个学者比较牛！

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不错价格便宜，内容也挺好