齣版社： 北京大學齣版社
ISBN：9787301241097
版次：2
商品編碼：11466314
包裝：平裝
叢書名： 21世紀微電子學專業規劃教材
開本：16開
齣版時間：2014-05-01
用紙：膠版紙
頁數：408
具體描述
編輯推薦
《矽集成電路工藝基礎（第二版）》非常值得推薦。內容簡介
本書是《矽集成電路工藝基礎》的第二版教材，作者在第一版的基礎上係統的講述瞭矽集成電路製造的基礎工藝，加深瞭工藝物理基礎和基本原理的介紹。增加瞭工藝集成例子的介紹。作者簡介
關旭東，北京大學信息學院微電子係 職稱：教授 研究方嚮：矽集成電路的設計和規劃 主要作品：矽集成電路工藝基礎。目錄
第一章 矽晶體和非晶體第二章 氧化
第三章 擴散
第四章 離子注入
第五章 物理氣相澱積
第六章 化學氣相澱積
第七章 外延
第八章 光刻工藝
第九章 金屬化與多層互聯
第十章 工藝集成
第十一章 薄膜晶體管製造工藝
前言/序言
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