內容簡介
《中外物理學精品書係·前沿係列15:矽基光電子學》是筆者在微納光電子領域多年研究和教學基礎上完成的,係統描述瞭矽基光電子學的基礎理論、器件原理及應用前景。全書共10章。第1~3章講述瞭矽基光電子學的起源及所需的基本知識;第4章介紹瞭矽基無源器件;第5~8章為矽基有源器件,包括光源、調製器、探測器、錶麵等離子體激元器件等;第9章介紹器件工藝與係統集成;第10章探討瞭矽基光電子學的應用。
《中外物理學精品書係·前沿係列15:矽基光電子學》可作為高等院校電子學、光電子學、物理電子學、微電子與固體電子學、通信與信息係統、計算機技術等專業高年級本科生和研究生相關課程的教材。對於在相關領域內工作的研究人員和工程技術人員,《中外物理學精品書係·前沿係列15:矽基光電子學》也是一本有用的參考書。
作者簡介
周治平,北京大學信息科學技術學院教授,長江學者特聘教授,SPIE Fellow IET Fellow.中國光學學會第六、第七屆理事會理事,IEEE中國武漢分會創會主席(2006-2008)。1993年獲美國喬治亞理工學院博士學位。長期從事微納光電子器件及其集成技術的研究和開發,在矽基光源、納米光柵、光電調製、光學傳感、光子晶體、錶麵等離子體器件及矽基集成技術等方麵有獨創性成果。發錶論文、特邀報告270餘篇,參編書籍5部,擁有國際國內專利15項。講授過現代電子通信、集成電路、光電子學、矽基光電子學等課程。
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目錄
第一章 緒論
§1.1 從微電子到光電子
§1.2 矽基光電子學的發展
§1.3 矽基光電子學的應用
§1.4 總結
參考文獻
第二章 矽中光子與電子的相互作用
§2.1 波動光學與光子光學
§2.2 半導體能帶結構
§2.3 矽基光子晶體帶隙結構
§2.4 矽中光子與載流子的相互作用
參考文獻
第三章 矽基光波導
§3.1 電磁理論基礎
§3.2 光波導基本理論
§3.3 波導耦閤理論
§3.4 SOl光波導
參考文獻
第四章 矽基無源器件
§4.1 光柵器件
§4.2 光子晶體平闆波導
§4.3 多模乾涉耦閤器
§4.4 陣列波導光柵
§4.5 微環諧振腔
§4.6 總結
參考文獻
第五章 矽基光源
§5.1 光發射的基礎理論
§5.2 矽放大的限製
§5.3 矽基發光材料
§5.4 矽基發光二極管
§5.5 矽基激光器
§5.6 總結
參考文獻
第六章 矽基光學調製
§6.1 光學調製原理
§6.2 光學調製評價
§6.3 矽基電光調製
§6.4 矽基熱光調製
§6.5 矽基聲光調製
參考文獻
第七章 矽基光電探測器
§7.1 光電探測器的基本原理
§7.2 光電探測器的特性和結構
§7.3 矽光電探測器
§7.4 鍺矽光電探測器
§7.5 總結
參考文獻
第八章 矽基錶麵等離子激元器件
§8.1 錶麵等離子激元概述
§8.2 錶麵等離子激元局域增強特性
§8.3 錶麵等離子體激元器件
§8.4 總結
參考文獻
第九章 矽基光電子器件工藝與係統集成
§9.1 平麵工藝
§9.2 薄膜製備
§9.3 光刻技術
§9.4 刻蝕技術
§9.5 係統集成
§9.6 總結
參考文獻
……
第十章 矽基光電子學的應用
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