用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 (英)张,王晓浩,唐飞,王文弢 9787030268624 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024
发表于2024-11-11
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基本信息
书名:用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
定价:35.00元
作者:(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢
出版社:科学出版社
出版日期:2010-03-01
ISBN:9787030268624
字数:154000
页码:121
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.640kg
编辑推荐
内容提要
碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
目录
作者介绍
文摘
序言
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