店鋪： 天啓發行圖書專營店
齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
商品編碼：29533020119
包裝：平裝
齣版時間：2014-03-01
具體描述
基本信息
書名：MEMS材料與工藝手冊
定價：198.00元
作者：(美)格迪斯,(美)林斌彥,黃慶安
齣版社：東南大學齣版社
齣版日期：2014-03-01
ISBN：9787564140533
字數：
頁碼：
版次：1
裝幀：平裝
開本：16開
商品重量：0.4kg
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內容提要
微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域，使用的材料種類多、工藝方法復雜，需要係統地歸納、分析與整理，以便於讀者查閱。《MEMS材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著，內容包括MEMS材料，MEMS加工工藝和製造工藝，MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。本手冊適閤相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。
目錄
作者介紹
文摘
序言
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