透明導電氧化物薄膜 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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薑辛 等 著

圖書標籤:

• 透明導電氧化物
• TCO
• 薄膜
• 材料科學
• 物理
• 化學
• 電子器件
• 光學性質
• 製備技術
• 應用研究

齣版社： 高等教育齣版社

ISBN：9787040250596

版次：1

商品編碼：10000271

包裝：精裝

叢書名： 當代科學前沿論叢

開本：16開

齣版時間：2008-10-01

用紙：膠版紙

頁數：328

正文語種：中文

編輯推薦

　　《透明導電氧化物薄膜》全書共七章，包括瞭透明導電氧化物薄膜的基本特徵、沉積製備、性能分析檢測、微細結構、電學性能、光學性能及應用等內容。書中不僅包含作者近年來在國內外的最新研究成果，還概括瞭國內外很多學者在透明導電氧化物薄膜研究上的主要成就，是本比較係統全麵的透明導電氧化物薄膜論著。

內容簡介

　　本書主要論述透明導電薄膜的性能與技術，比較係統全麵地介紹瞭透明導電氧化物薄膜的結構、性能、製備、錶徵與應用，反映瞭當前透明導電氧化物薄膜性能與技術研究、發展的前沿信息。全書共七章，包括瞭透明導電氧化物薄膜的基本特徵、沉積製備、性能分析檢測、微細結構、電學性能、光學性能及應用等內容。書中不僅包含作者近年來在國內外的最新研究成果，還概括瞭國內外很多學者在透明導電氧化物薄膜研究上的主要成就，是本比較係統全麵的透明導電氧化物薄膜論著。

作者簡介

　　薑辛，德國夫琅和費薄膜與錶麵工程研究所高級研究員，材料學專傢。
　　1983年畢業於吉林大學物理係，獲學士學位；1992年在世界上首先獲得金剛石在Si上的異質外延生長，該方法在全世界被廣泛采用來製備高質量金剛石膜。在15年的科學研究中，在薄膜技術領域，尤其在金剛石外延領域多年處於世界領先地位，成為世界著名學者之一，其發錶文章100餘篇，引用總次數1000餘次，國際特邀報告10餘次。作為華人，首次在德國獲得教授資格及第二學位（Dr.rer.nat.habil.），並在布倫瑞剋大學任教授。目前主要從事薄膜太陽能電池，外延膜的生長，納米復閤梯度膜的製備，納米材料等方麵的研究。2002年同時受到德國Clausthal技術大學及濟根大學終身教授聘請。

內頁插圖

目錄

第一章 透明導電薄膜概述
1.1 概述
1.2 透明導電薄膜的分類
1.3 透明導電薄膜的基本特性
1.3.1 透明導電金屬薄膜
1.3.2 透明導電氧化物薄膜
1.4 透明導電氧化物薄膜的研究現狀
1.4.1 SnO2薄膜及其摻雜體係
1.4.2 Cd2SnO4薄膜體係
1.4.3 In2O3薄膜及其摻雜體係
1.4.4 ZnO薄膜及其摻雜體係
1.5 透明導電氧化物薄膜的應用
1.5.1 ITO薄膜的主要應用
1.5.2 ZnO薄膜的主要應用
1.5.3 透明導電薄膜的其他應用
參考文獻

第二章 透明導電氧化物薄膜的製備技術
2.1 概述
2.2 真空蒸發鍍膜
2.2.1 真空蒸發鍍膜原理
2.2.2 真空蒸發的方式和設備
2.3 濺射鍍膜
2.3.1 概述
2.3.2 濺射鍍膜原理
2.3.3 濺射鍍膜的特點
2.3.4 濺射鍍膜裝置
2.3.5 磁控濺射沉積ITO薄膜
2.3.6 ITO鍍膜生産實例
2.3.7 磁控濺射沉積ZnO薄膜
2.4 化學氣相沉積
2.4.1 化學氣相沉積的原理
2.4.2 化學氣相沉積的分類與特點
2.4.3 化學氣相沉積ITO薄膜工藝
2.4.4 化學氣相沉積的ZnO薄膜製備工藝
2.5 其他化學沉積方法
2.5.1 溶膠-凝膠法製備透明導電薄膜
2.5.2 噴塗熱分解法製備透明導電薄膜
2.6 透明導電薄膜製備技術的比較
2.6.1 不同技術沉積的ITO薄膜的性能比較
2.6.2 不同技術沉積的ZnO薄膜的性能比較
2.6.3 其他透明導電薄膜的製備技術
參考文獻

第三章 薄膜的分析和性能檢測技術
3.1 概述
3.2 薄膜形貌分析
3.2.1 掃描電子顯微鏡
3.2.2 透射電子顯微鏡
3.2.3 掃描探針顯微鏡
3.3薄 膜相結構分析
3.3.1 X射綫衍射
3.3.2 電子衍射
3.4 薄膜成分分析
3.4.1 概述
3.4.2 電子探針X射綫顯微分析
3.4.3 電子能譜分析
3.4.4 二次離子質譜(SIMS)
3.5 錶麵電子態分析
3.6 錶麵原子態分析
3.7 薄膜厚度測量
3.7.1 薄膜厚度的概念
3.7.2 薄膜厚度的測量方法
3.8 薄膜電學性能測量
3.8.1 四點探針法
3.8.2 霍爾效應
3.9 薄膜光學性能測量
3.9.1 透射率和反射率測量
3.9.2 橢圓偏振測量技術
參考文獻

第四章 透明導電薄膜的結構特性
4.1 概述
4.2 ITO薄膜的結構特性
4.2.1 ITO薄膜的相結構
4.2.2 ITO薄膜的成分分布及化學態
4.2.3 ITO薄膜的組織形貌
4.3 ZnO：Al薄膜的結構特性
4.3.1 ZnO薄膜的相結構
4.3.2 ZnO薄膜的晶體生長模式
4.3.3 ZnO薄膜的成分分布及化學態
4.3.4 ZnO薄膜的能帶結構及錶麵功函數
參考文獻

第五章 透明導電薄膜的電學性能
5.1 概述
5.2 半導體薄膜中的電荷輸運現象
5.2.1 單晶半導體材料中的電傳導
5.2.2 多晶材料中的電傳導
5.2.3 非晶材料中的傳導機製
5.3 未摻雜透明導電薄膜的電學性能
5.3.1 沉積工藝參數的影響
5.3.2 薄膜厚度的影響
5.3.3 沉積後退火處理的影響
5.4 摻雜透明導電膜的電學性能
5.4.1 摻雜量的影響
5.4.2 沉積工藝參數的影響
5.4.3 沉積後退火處理的影響
5.5 透明導電薄膜導電機製的實驗研究
5.6 透明導電氧化物薄膜電學性能的幾個值得關注的問題
參考文獻

第六章 透明導電薄膜的光學性能
6.1 概述
6.2 光學常數

6.2.1 摺射係數和消光係數
6.2.2 禁帶寬度
6.3 光學和電學性質的關聯性
6.4 半導體氧化物薄膜的光學性質
6.4.1 禁帶寬度
6.4.2 摺射係數和消光係數
6.4.3 透射、反射和吸收
6.5 提高透明導電氧化物薄膜光學性能值得關注的技術
參考文獻

第七章 透明導電薄膜的應用研究
7.1 概述
7.2 透明導電薄膜的性能指數
7.3 波長(頻率)選擇特性應用
7.3.1 波長(頻率)選擇特性
7.3.2 摻雜對光學性能的影響
7.4 在薄膜太陽能電池上的應用
7.4.1 薄膜太陽能電池結構
7.4.2 透明導電氧化物薄膜太陽能電池
7.4.3 透明導電薄膜用於太陽能電池的麵電極
7.5 在顯示器件上的應用
7.5.1 透明導電薄膜在發光二極管上的應用
7.5.2 ITO透明導電薄膜在長壽命電緻發光器件上的應用
7.5.3 SnO2、ITO透明薄膜電極在PbO光電導靶上的應用
7.5.4 SnO2、ITO透明導電薄膜電極在液晶顯示器上的應用
7.6 在氣敏元件上的應用
7.6.1 甲烷和丙烷氣敏元件
7.6.2 一氧化碳探測器
7.6.3 氫氣敏元件
7.6.4 乙醇探測器
7.6.5 氮氧化物氣敏元件
7.6.6 其他氣體的氣敏元件
7.7 ZnO薄膜在壓電器件中的應用
7.7.1 ZnO壓電薄膜的製備
7.7.2 壓電性能
7.7.3 壓電薄膜的應用
7.8 其他應用
7.8.1 In2O3、ITO透明導電薄膜在航空航天、汽車、高速列車上的應用
7.8.2 透明導電薄膜在電子器件上的應用
7.8.3 在防護塗層方麵的應用
7.9 透明導電薄膜今後應著力研究解決的重要科學技術
參考文獻

前言/序言

　　半導體物理學在最近幾十年取得瞭驚人的進展，其動力源於半導體材料及其廣闊的應用背景與理論和應用的有機結閤。這一方麵推動瞭基礎理論的進步，另一方麵促進瞭新型實用材料體係和先進工藝製備技術的不斷湧現。充分體現新材料是支撐現代文明社會的基礎和促進高技術發展的先導。
　　微電子技術特彆是顯示技術和太陽能光電轉換技術等熱點領域的巨大需求，使得無論從基礎研究還是應用開發方麵，推動瞭一個很重要的領域——氧化物半導體透明導電薄膜體係——的蓬勃發展。

好的，這是一本關於《先進半導體材料的界麵工程與器件應用》的圖書簡介，內容側重於材料科學、物理學和電子工程的前沿交叉領域，與“透明導電氧化物薄膜”的主題完全不同。 --- 先進半導體材料的界麵工程與器件應用 圖書定位： 本書麵嚮材料科學、凝聚態物理、微電子學、光電子學以及相關工程領域的高年級本科生、研究生以及科研人員，旨在係統梳理當前半導體異質結構界麵科學的最新進展，並深入探討界麵調控在高性能器件設計中的核心作用。 內容概述： 半導體材料是現代信息技術和能源轉化的基石。然而，在任何實際器件中，性能的瓶頸往往不在於塊體材料本身，而在於不同材料相遇時形成的“界麵”。《先進半導體材料的界麵工程與器件應用》聚焦於精確控製和利用這些界麵，以實現材料性能的突破性提升。 本書結構嚴謹，內容涵蓋瞭從原子尺度的界麵形成機理到宏觀器件性能優化的完整鏈條。全書共分八個主要章節，輔以豐富的實驗案例和理論模型。 第一部分：界麵科學基礎與錶徵技術（第1-3章） 第1章：半導體異質結的基礎理論 本章首先迴顧瞭傳統的能帶理論，並引入瞭應對異質結體係的關鍵概念，如界麵能帶彎麯、肖特基勢壘的形成條件以及能帶失配引起的應力與缺陷。重點討論瞭範德華異質結（vdW Heterostructures）的獨特性質，區彆於傳統共價或離子鍵異質結的界麵特性。詳細分析瞭界麵態的密度、分布及其對載流子傳輸的調製效應。 第2章：界麵結構與化學態的高精度錶徵 界麵工程的成功高度依賴於精確的錶徵手段。本章深入介紹瞭用於解析界麵原子結構和化學環境的前沿技術。內容包括： 高分辨率透射電子顯微鏡（HR-TEM） 在晶格匹配和缺陷成像中的應用。 X射綫光電子能譜（XPS） 和俄歇電子能譜（AES） 如何揭示界麵處的元素價態變化和化學鍵閤信息。 同步輻射光源（SR） 支持下的反射高能電子衍射（RHEED） 和錶麵敏感X射綫吸收精細結構（XAFS） 在實時監測薄膜生長和界麵演化中的關鍵作用。 第3章：界麵應力、弛豫與缺陷工程 晶格失配導緻的界麵應力是影響器件穩定性和效率的主要因素之一。本章詳細闡述瞭應力積纍與釋放在薄膜生長過程中的演化機製。探討瞭如何通過引入特定缺陷（如位錯、空位團簇）來調控界麵電學特性，即“缺陷工程”。特彆關注瞭如何利用應變工程來拓寬材料的有效帶隙或調整載流子遷移率。 第二部分：功能界麵調控與器件集成（第4-6章） 第4章：能源轉換器件中的界麵設計 本部分聚焦於能量轉換領域，如太陽能電池和熱電器件。 光伏器件： 討論瞭鈍化層/吸收層界麵對於減少錶麵復閤損失的關鍵性。深入分析瞭高效率鈣鈦礦太陽能電池中空穴傳輸層（HTL）與吸收層界麵能級匹配的優化策略，以及界麵電荷提取機製。 熱電材料： 闡述瞭如何利用界麵聲子散射來有效降低熱導率，同時保持高電導率。重點介紹通過構建納米復閤結構界麵來增強塞貝剋效應的策略。 第5章：新型晶體管與高速電子學界麵 在本章中，重點討論瞭對柵極堆疊結構和溝道材料界麵的精確控製如何驅動晶體管性能的提升。 高遷移率溝道： 研究瞭二維電子氣（2DEG）體係中，通過界麵極化效應調控載流子二維密度和平均自由程的物理機製。 隧道結與高頻器件： 探討瞭超薄介質層與半導體層之間界麵陷阱密度對閾值電壓穩定性和漏電流的影響，並介紹瞭原子層沉積（ALD）技術在製備超薄、高質量界麵方麵的優勢。 第6章：拓撲材料與自鏇電子學界麵 隨著自鏇電子學和拓撲物理的興起，界麵在這些前沿領域扮演著核心角色。本章深入研究： 自鏇注入與散射： 分析瞭鐵磁體/半導體界麵處自鏇弛豫時間的測量方法，以及界麵磁各嚮異性對自鏇閥器件性能的影響。 拓撲/非拓撲界麵： 討論瞭如何利用不同拓撲性質材料的界麵來激發或穩定重要的邊界態，例如量子反常霍爾效應的實現。 第三部分：界麵工程的先進製造工藝（第7-8章） 第7章：原子級薄膜沉積技術與界麵控製 高質量界麵的製備是界麵工程的先決條件。本章全麵對比瞭當前主流的薄膜生長技術： 分子束外延（MBE）： 及其在精確控製生長速率和界限清晰度方麵的優勢。 化學氣相沉積（CVD）與原子層沉積（ALD）： 重點分析瞭ALD如何通過自限製的反應過程實現原子尺度的厚度控製和優異的共形覆蓋，尤其是在復雜三維結構中的應用。 脈衝激光沉積（PLD）： 探討瞭其在快速沉積復雜氧化物和多組分材料時的優勢與挑戰。 第8章：後處理與界麵化學修飾 器件性能往往在生長完成後通過後處理得以優化。本章涵蓋瞭多種界麵鈍化和化學修飾技術： 熱退火與快速熱退火（RTA）： 分析瞭不同溫度和氣氛下，界麵缺陷的遷移、聚集與修復過程。 錶麵活化與化學氣相鈍化： 介紹瞭通過等離子體或化學溶液處理來有效降低錶麵懸掛鍵和陷阱態密度的方法，從而大幅改善器件的長期穩定性和電學性能。 總結與展望： 本書最後總結瞭當前界麵科學麵臨的挑戰，特彆是如何跨越宏觀尺度差異，實現對復雜多層異質結的理論預測與實驗驗證。本書旨在為讀者提供一個全麵、深入且技術前沿的知識框架，激勵下一代半導體器件的創新設計。

評分☆☆☆☆☆

這本書的邏輯構建和章節間的過渡處理，展現瞭作者深厚的學術功底和極強的組織能力。我通常在閱讀專業書籍時，容易在概念的跳躍性上感到睏惑，但這本書在這方麵做得非常齣色。作者似乎總能預判到讀者思維的下一步，總能在最恰當的時機引入新的理論模型或實驗數據來支撐前文的論斷。例如，在討論薄膜生長動力學的部分，作者先用類比的方式解釋瞭原子層沉積（ALD）的基本過程，隨後立刻跟進量子力學層麵的能壘分析，這種由宏觀到微觀、再迴歸宏觀的敘事結構，使得復雜的物理化學過程變得清晰易懂，不再是晦澀難懂的公式堆砌。特彆是對晶界散射效應的闡述，作者使用瞭好幾個不同的數學模型進行交叉驗證，這對於希望深入探究機理的研究者來說，簡直是寶藏級彆的參考資料。這種嚴謹而不失靈活的論述方式，讓原本枯燥的理論學習過程變成瞭一種享受，我甚至會時不時地停下來，思考作者提齣的每一個論證背後的深層含義。

評分☆☆☆☆☆

與市麵上許多側重於最新前沿突破的科技書籍不同，這本書的價值在於其對基礎理論的紮實梳理和對經典方法的詳盡迴顧。我驚喜地發現，書中對那些已經不太常被提及的、早期的製備技術，如溶膠-凝膠法（Sol-Gel）的變種和電化學沉積的優化參數，都進行瞭近乎百科全書式的詳盡介紹。這對於身處實驗室、需要快速復現或改進老方法的工程師來說，無疑是極大的便利。我特彆留意瞭作者在某一特定實驗流程中的“陷阱”警示部分，這些細節往往是教科書和頂會論文中略去的，但卻是決定實驗成敗的關鍵。例如，關於前驅體溶液配比中微小水分殘留可能對最終薄膜結構造成不可逆影響的分析，描述得極其細緻入微。這錶明作者不僅是理論的構建者，更是實踐的親曆者，這種基於“踩坑經驗”的知識傳授，其價值遠超純粹的理論推導，它讓學習者在嘗試新方法時，能夠更少地走彎路。

評分☆☆☆☆☆

從跨學科融閤的角度來看，這本書的視野非常開闊，它成功地將材料科學、固體物理、化學工程甚至光學工程的知識點巧妙地編織在一起。我尤其欣賞其中關於界麵工程對器件性能影響的章節，作者沒有將界麵視為一個簡單的物理邊界，而是將其視為一個復雜的、具有獨立電子特性的功能層來對待。書中對於不同電沉積電極材料與基底之間範德華力和化學鍵閤強度的對比分析，直接關聯到瞭最終薄膜的應力狀態和長期穩定性。這種深入到原子尺度和宏觀應用之間的往返穿梭能力，是很多單一學科書籍所不具備的。對於那些希望將基礎研究成果快速轉化為實際應用，比如開發下一代顯示技術或高效太陽能電池的研究人員而言，這本書提供瞭必要的跨界思維工具，它不僅僅告訴你“是什麼”，更重要的是，它教你“如何從不同角度去理解和解決問題”，拓寬瞭我們對“薄膜”這一概念的認知邊界。

評分☆☆☆☆☆

這本書的語言風格是相當鮮明且具有個人色彩的，它不像某些學術著作那樣矯揉造作或故作高深，而是用一種非常坦誠和對話式的口吻與讀者交流。行文中不乏一些作者自己對研究領域未來走嚮的獨到見解和帶著幽默感的個人評論，這大大增強瞭閱讀的趣味性。舉個例子，當討論某些商業化産品在性能上遇到的瓶頸時，作者會用“這就像在試圖用一把鈍刀切黃油”這樣的比喻來形容，瞬間就能抓住讀者的注意力。同時，作者在引用參考文獻時也極為審慎，不僅羅列瞭關鍵文獻，還經常附帶一句精煉的評價，說明該文獻的開創性或局限性，這使得讀者在查閱原始資料時，目標性更強，效率更高。這種亦師亦友的敘事策略，使得讀者在學習過程中，感覺不是在獨自麵對一堆冰冷的知識點，而是在一位經驗豐富的導師的陪伴下進行探索，讓人感到既踏實又充滿乾勁。

評分☆☆☆☆☆

這本書的裝幀設計實在令人眼前一亮，那種低飽和度的藍色調，配上精妙的排版和恰到好處的留白，初次捧讀時就給人一種沉靜而專業的印象。內頁紙張的質感也十分考究，即便是長時間閱讀，眼睛也不會感到過分疲勞。我尤其欣賞作者在引言部分所展現齣的那種宏大敘事的氣魄，它並非簡單地羅列技術細節，而是將整個領域的發展脈絡娓娓道來，仿佛帶領我們穿越瞭半個多世紀的材料科學史。書中對早期發現的那些看似不起眼的小實驗的描述，生動得讓人仿佛身臨其境，感受到瞭科學探索的艱辛與樂趣。比如，關於鋅氧化物早期在熒光屏上的應用，作者的文字充滿瞭人文關懷，將冰冷的技術原理與人類對光明的追求巧妙地融閤在一起。讀完第一章，我已經對這個研究方嚮産生瞭濃厚的興趣，它不僅僅是一本技術手冊，更像是一部材料科學的編年史，充滿瞭對前輩智慧的敬意。整體來看，這本書的閱讀體驗是極其舒適且富有啓發性的，從視覺到思想層麵，都達到瞭相當高的水準。

評分☆☆☆☆☆

絕對的正版，價格便宜，真是劃算

評分☆☆☆☆☆

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評分☆☆☆☆☆

東西不錯，很滿意，非常感謝

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透明導電氧化物薄膜,好書，比書店便宜，送貨快

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打開書本[SM]，[ZZ]裝幀精美，紙張很乾淨，文字排版看起來非常舒服非常的驚喜，讓人看得欲罷不能，每每捧起這本書的時候 似乎能夠感覺到作者毫無保留的把作品呈現在我麵前。 [BJTJ]作業深入淺齣的寫作手法能讓本人猶如身臨其境一般，好似一杯美式咖啡，看似快餐，其實值得迴味 無論男女老少，第一印象最重要。”[NRJJ]從你留給彆人的第一印象中，就可以讓彆人看齣你是什麼樣的人。[SZ]所以多讀書可以讓人感覺你知書答禮，頗有風度。 多讀書，可以讓你多增加一些課外知識。培根先生說過：“知識就是力量。”不錯，多讀書，增長瞭課外知識，可以讓你感到渾身充滿瞭一股力量。這種力量可以激勵著你不斷地前進，不斷地成長。從書中，你往往可以發現自己身上的不足之處，使你不斷地改正錯誤，擺正自己前進的方嚮。所以，書也是我們的良師益友。 多讀書，可以讓你變聰明，變得有智慧去戰勝對手。書讓你變得更聰明，你就可以勇敢地麵對睏難。讓你用自己的方法來解決這個問題。這樣，你又嚮你自己的人生道路上邁齣瞭一步。 多讀書，也能使你的心情便得快樂。讀書也是一種休閑，一種娛樂的方式。讀書可以調節身體的血管流動，使你身心健康。[QY]所以在書的海洋裏遨遊也是一種無限快樂的事情。用讀書來為自己放鬆心情也是一種十分明智的。 讀書能陶冶人的情操，給人知識和智慧。所以，我們應該多讀書，為我們以後的人生道路打下好的、紮實的基礎！讀書養性，讀書可以陶冶自己的性情，使自己溫文爾雅，具有書捲氣；讀書破萬捲，下筆如有神，多讀書可以提高寫作能力，寫文章就纔思敏捷；舊書不厭百迴讀，熟讀深思子自知，讀書可以提高理解能力，隻要熟讀深思，你就可以知道其中的道理瞭；讀書可以使自己的知識得到積纍，君子學以聚之。總之，愛好讀書是好事。讓我們都來讀書吧。 其實讀書有很多好處,就等有心人去慢慢發現. 最大的好處是可以讓你有屬於自己的本領靠自己生存。 最後在好評一下京東客服服務態度好，送貨相當快,包裝仔細！這個也值得贊美下 希望京東這樣保持下去，越做越好

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就用個塑料袋套瞭一下，收到貨書角都磕壞瞭，不想退瞭，將就看吧

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搞活動時幫師妹買的，好壞隻有她知道

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整體來說不錯的一本書，還很新，但是內容少瞭點和裏麵排版讓人覺的太水

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