基本信息
書名:半導體工藝和器件仿真軟件SilvacoTCAD實用教程(配光盤)
定價:39元
作者:唐龍榖 著
齣版社:清華大學齣版社
齣版日期:2014-07-01
ISBN:9787302354314
頁碼:235
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
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目錄
章 仿真基礎
1.1 TCAD
1.1.1 數值計算
1.1.2 基於物理的計算
1.2 SilvacoTCAD
1.2.1 主要組件
1.2.2 目錄結構
1.2.3 文件類型
1.3 Deckbuild
1.3.1 DeckbuildPreferences
1.3.2 語法格式
1.3.3 gO
1.3.4 set
1.3.5 Tonyplot
1.3.6 extract
1.4 學習方法
思考題與習題1
第2章 二維工藝仿真
2.1 ATHENA概述
2.2 工藝仿真流程
2.2.1 定義網格
2.2.2 襯底初始化
2.2.3 工藝步驟
2.2.4.提取特性
2.2.5 結構作
2.2.6 Tonyplot顯示
2.3 單項工藝
2.3.1 離子注入
2.3.2 擴散
2.3.3 澱積
2.3.4 刻蝕
2.3.5 外延
2.3.6 拋光
2.3.7 光刻
2.3.8 矽化物
2.3.9 電極
2.3.1 0幫助
2.4 集成工藝
2.5 優化
2.5.1 優化設置
2.5.2 待優化參數
2.5.3 優化目標
2.5.4 優化結果
思考題與習題
第3章 二維器件仿真
3.1 ATLAS概述
3.2 器件仿真流程
3.3 定義結構
3.3.1 ATI。AS生成結構
3.3.2 DevEdit生成結構
3.3.3 DevEdit編輯已有結構
3.4 材料參數及模型
3.4.1 接觸特性
3.4.2 材料特性
3.4.3 界麵特性
3.4.4 物理模型
3.5 數值計算方法
3.6 獲取器件特性
3.6.1 直流特性
3.6.2 交流小信號特性
3.6.3 瞬態特性
3.6.4 特性
3.7 圓柱對稱結構
3.8 器件仿真結果分析
3.8.1 實時輸齣
3.8.2 日誌文件
……
第4章 器件一電路混閤仿真
第5章 特性
參考文獻
內容提要
為瞭滿足半導體工藝和器件及其相關領域人員對計算機仿真知識的需求,幫助其掌握當前的計算機仿真工具,特編寫《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程》。
《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程》以SilvacoTCAD2012為背景,由淺入深、循序漸進地介紹瞭SilvacoTCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成環境、Tonyplot顯示工具、ATHENA工藝仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件一電路混閤仿真以及C注釋器等工具。
《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程》內容豐富、層次分明、突齣實用性,注重語法的學習,例句和配圖常豐富;所附光盤含有書中具有獨立仿真功能的例句的完整程序、教學PPT和大量學習資料。讀者藉助《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程》的學習可以實現快速入門,且能深入理解TCAD的應用。
《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程》既可以作為高等學校微電子或電子科學與技術專業高年本科生和研究生的教材,也可供相關專業的工程技術人員學習和參考。
文摘
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作者介紹
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讀完這本書,我感覺自己對Silvaco TCAD的掌握程度有瞭質的飛躍。書中在講解過程中,還穿插瞭一些半導體物理的基礎知識,幫助我更好地理解仿真結果背後的物理原理。例如,在講解器件的溝道長度調製效應時,書中不僅給齣瞭仿真腳本,還解釋瞭其物理成因,這使得我不僅僅停留在“會用”的層麵,更能“理解為什麼”。這種理論與實踐相結閤的講解方式,讓我對半導體器件的工作原理和工藝流程有瞭更深刻的認識。
評分我特彆欣賞書中關於工藝仿真和器件仿真的詳細案例分析。比如在工藝仿真部分,針對MOSFET等主流器件,詳細列舉瞭擴散、離子注入、刻蝕等關鍵工藝步驟的仿真參數設置,並對不同參數組閤下的工藝結果進行瞭可視化展示和深入剖析,這讓我對半導體製造過程中各環節的相互影響有瞭更直觀的認識。而在器件仿真方麵,書中針對不同特性的器件,如NMOS、PMOS、BJT等,提供瞭詳細的仿真腳本編寫和結果分析方法,包括I-V特性麯綫、C-V特性麯綫的提取和解讀,這對於我後續進行實際器件設計和優化非常有幫助。
評分這本書的實用性體現在它不僅僅是理論的講解,更注重實踐操作。配的光盤中包含瞭大量的仿真腳本和示例文件,這為我們讀者提供瞭極大的便利。我可以直接下載這些文件,並在自己的電腦上進行復現和修改,通過實際操作來加深對書中內容的理解。更重要的是,書中對於一些仿真結果的異常情況,也提供瞭相應的排查和解決思路,這在我遇到仿真問題時,能提供及時的指導,避免走彎路。這種“邊學邊練”的學習模式,大大提升瞭學習效率。
評分作為一名半導體領域的學生,對TCAD軟件的學習一直是我學習過程中的一個難點,但這本書的齣現,極大地緩解瞭我的焦慮。書中對TCAD軟件的一些高級功能,例如工藝流程的自動化、器件模型參數的提取等方麵,也進行瞭較為深入的探討。這讓我認識到,TCAD不僅僅是一個簡單的仿真工具,更是一個強大的研發平颱。書中提供的一些方法和技巧,對於我未來從事科研工作,或者是在實際的半導體生産綫進行工藝優化,都具有很強的藉鑒意義。
評分初拿到這本《正版A 半導體工藝和器件仿真軟件SilvacoTCAD實用教程(配光盤)》,我的第一印象是它內容相當紮實。書中從Silvaco TCAD的安裝配置入手,循序漸進地講解瞭TCAD軟件的基本操作流程,這一點對於初學者來說至關重要,畢竟很多教程上來就直接進入復雜的仿真模型,容易讓人望而卻步。作者唐龍榖老師在闡述概念時,邏輯清晰,語言通俗易懂,避免瞭過多的生澀術語,使得即使是剛接觸TCAD的我也能比較容易地理解。
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