微光机电系统 [Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems] pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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[美] 莫塔麦迪 著，周海宪，程云芳 译

图书标签:

• 微机电系统
• 光机电系统
• MEMS
• MOEMS
• 微光子学
• 传感器
• 执行器
• 微纳技术
• 集成光学
• 精密仪器

出版社： 国防工业出版社

ISBN：9787118063653

版次：1

商品编码：10065729

包装：平装

外文名称：Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems

开本：16开

出版时间：2010-01-01

用纸：胶版纸

页数：510

正文语种：中文

内容简介

近代光学和光电子技术的迅速发展使光电子仪器及其元件（包括光学元件和机械零件）发生了巨大的变化，最重要的变化之一是从宏观概念发展到微观概念，因此，形成了不同的微光学仪器研究领域：微光学系统（Micro-Optics）、微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）。
微光学元件是应用现代微加工技术，例如光学蚀刻技术、激光束直写和电子束直写以及反应离子束蚀刻技术制造出的一类光学零件，一般地，这种元件的外形尺寸是微米数量级。微光学元件包括衍射和折射两种，例如微透镜、微反射镜、微扇出光栅、最佳相位元件和偏振器等，已经成为实现（而利用传统的光学元件不可能实现或者是不现实的）各种光学功能的强有力工具，几乎在所有的工程应用领域中，特别是在现代国防科学技术领域中有重要的应用价值和广阔的应用前景。与传统的光学元件相比，微光学元件最大的优点就是可以将大的复杂光学系统集成为非常紧凑的形式，使光电子仪器及其零部件更加小型化、阵列化和集成化，因此，微光学元件是制造小型或超小型光电子系统的关键元件。

内页插图

目录

第1章 概述
1.1 集成电路和微加工技术的发展
1.2 微机电系统的发展
1.3 微光学的最新发展
1.4 MEMS中的微光学：MOEMS回顾
1.4.1 光学开关的新发展
1.4.2 可调谐滤光片和波分复用技术（WDMs）
1.4.3 数字反射镜装置
1.4.4 MOEMS扫描器
1.4.5 电信领域中的MOEMS技术
1.5 微系统：术语和范围
1.5.1 世界范围内MEMS和MOEMS的活动
1.5.2 世界范围内的MEMS和MOEMS学科
1.5.3 MEMS和MOEMS的世界市场
1.6 本书涵盖的内容
参考文献

第2章 微机械加工技术
2.1 概述
2.2 散体微加工技术
2.2.1 湿散体微加工技术
2.2.2 干散体微加工技术
2.3 深X射线平版印刷术（DXRL）
2.4 表面微加工技术
2.5 与CMOS兼容的MEMS和MOEMS
2.6 以半导体复合材料为基础的MEMS和MOEMS
2.7 MOEMS应用中与光学有关的问题
问题与练习
参考文献

第3章 微光学
3.1 概述
3.2 微光学发展史
3.3 光束通过微结构和纳米结构的偏转
3.3.1 折射和衍射微光学元件
3.3.2 模拟折射率材料
3.3.3 光子晶体
3.3.4 谐振滤光片
3.3.5 对轮廓形状的要求
3.4 二元和多阶光学元件
3.4.1 目的
3.4.2 二元光学结构的加工
3.4.3 多阶结构的加工
3.5 连续面浮雕结构的加工技术
3.5.1 平版印刷技术
3.5.2 表面轮廓转印到光学材料内
3.6 结论
问题与练习
参考文献

第4章 致动器和传感器
4.1 概述
4.1.1 微致动器
4.1.2 与MOEMS有关的传感器
4.1.3 本章的内容
4.2 静电致动器
4.2.1 背景
4.2.2 共面致动技术
4.2.3 异面致动技术
4.2.4 三维致动技术
4.3 热致动器
4.3.1 基本原理
4.3.2 共面致动技术
4.3.3 异面致动技术
4.3.4 三维致动技术
4.4 形状记忆致动器
4.4.1 基础知识
4.4.2 共面致动技术
4.4.3 异面致动技术
4.4.4 三维致动技术
4.5 压电致动器
4.5.1 基础知识
4.5.2 共面致动技术
4.5.3 异面致动技术
4.5.4 三维致动技术
4.6 磁性致动器
4.6.1 基础知识
4.6.2 共面致动技术
4.6.3 异面致动技术
4.6.4 三维致动技术
4.7 与MOEMS有关的传感器
4.7.1 位移传感器
4.7.2 化学传感器
4.7.3 荧光探测传感器
4.7.4 惯性传感器：加速度计
4.7.5 压力传感器
问题与练习
参考文献

第5章 微光学元件，测试和应用
5.1 微光学元件
5.1.1 微光学透镜
5.1.2 液晶光学元件
5.1.3 光束成形光学元件
5.2 微光学测试
5.2.1 光学轮廓测量
5.2.2 表面偏离的测量
5.2.3 波像差测量
5.3 微光学的应用
5.3.1 光束控制
5.3.2 微透镜和焦平面阵列(FPA）的集成
问题与练习
参考文献

第6章 纤维光学系统
6.1 概述
6.2 基础知识
6.2.1 光纤类型
6.2.2 纤维光学元件的关键参数
6.2.3 光纤或波导的直接移动
6.2.4 平行光束中的控制
6.3 光纤准直器及其阵列
6.3.1 光纤阵列
6.3.2 微透镜阵列的要求
6.3.3 微透镜阵列的制造
6.3.4 光纤阵列和微透镜阵列的安装技术
6.4 安装有MOEMS的纤维光学元件
6.4.1 可变光学衰减器
6.4.2 动态增益和通道均衡器
6.4.3 光学纤维开关
6.4.4 可调谐光源和滤光片
6.5 总结
问题与练习
参考文献

第7章 光学扫描
7.1 概述
7.2 光学扫描器的工作原理及其分类
7.3 机械扫描系统
7.3.1 倾斜微反射镜
7.3.2 透镜扫描器
7.3.3 微电机扫描器
7.3.4 安装有杠杆平衡机构的反射镜
7.3.5 采用表面微加工技术制造出的反射镜
7.4 多维扫描
……
第8章 显示和成像系统
第9章 自适应光学
第10章 MEMS和MOEMS的计算机辅助设计及模拟
第11章 MEMS和MOEMS的封装
第12章 MEMS和MOEMS材料
书中缩略语注释

精彩书摘

　　微光学技术可以解决一些常规光学不能解决的问题。微光学的优势类似于MEMS，为光学系统尺寸的微型化提供一个强有力的工具，这是常规光学元件加工不可能达到的。
　　各种加工技术的发展，包括二元光学和灰度光刻法、低成本复印技术以及改进后的衍射光学设计方法，已经使加工精度、可靠性和微光学元件的质量得到了提高，并且拓宽了微光学器件的设计及制造种类。
　　正如第3章和第5章所述，微透镜是微光学装置的关键元件，几乎在所有的高级光学系统中都需要它。为了满足光学系统的所有要求，需要同时研发衍射微透镜和折射微透镜。微透镜的两个关键特性是速率和填充因子。微透镜的速率定义为透镜的焦距与直径之比，该比值称为F数，并用F/比值表示。填充因子应用于微透镜阵列，表示一个阵列如何封装。衍射微透镜阵列的填充因子是100％，但其速率受到限制，对可见光，限制到F/4如果是近红外光，可能限制到F/2到F/1。在第3章和第5章将会看到，材料的折射率对控制衍射透镜的速率起着重要作用。为了制造高速率的微透镜，采用高折射率材料，例如GaAs是比较理想的。图1-8给出了使用扫描电子显微镜（SEM）拍摄的F／0．3高速微透镜阵列的显微照片，波长A为10um，微透镜直径120um，填充因子100％。

前言/序言

　　近代光学和光电子技术的迅速发展使光电子仪器及其元件（包括光学元件和机械零件）发生了巨大的变化，最重要的变化之一是从宏观概念发展到微观概念，因此，形成了不同的微光学仪器研究领域：微光学系统（Micro-Optics）、微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）。
　　微光学元件是应用现代微加工技术，例如光学蚀刻技术、激光束直写和电子束直写以及反应离子束蚀刻技术制造出的一类光学零件，一般地，这种元件的外形尺寸是微米数量级。微光学元件包括衍射和折射两种，例如微透镜、微反射镜、微扇出光栅、最佳相位元件和偏振器等，已经成为实现（而利用传统的光学元件不可能实现或者是不现实的）各种光学功能的强有力工具，几乎在所有的工程应用领域中，特别是在现代国防科学技术领域中有重要的应用价值和广阔的应用前景。与传统的光学元件相比，微光学元件最大的优点就是可以将大的复杂光学系统集成为非常紧凑的形式，使光电子仪器及其零部件更加小型化、阵列化和集成化，因此，微光学元件是制造小型或超小型光电子系统的关键元件。
　　微机械加工技术与集成电路的发展密切相关，批量生产和减小尺寸是集成电路高度商业化成功的关键，微传感器得到了非常广泛的应用。因此，微机械加工技术是微电子处理工序中一种很重要的方法，对大量的微米级结构，例如沟、槽、微型梁和桥都必须使用微机械加工技术。微机电系统（MEMS）是利用微加工技术制造出的三维机械一电子装置，一个典型的M。EMS装置至少包含一个可运动结构以满足某种机械作用的需要，顾名思义，MEMS装置由电子和机械两种元件组成。在美国和其他国家，尤其在欧洲的一些国家，所有研发微系统的项目都广泛以缩写MEMS代表微电子一机械系统（micro-electro-mechanicalsystems）。

《微光机电系统》 一、 领域概览与核心概念 微光机电系统（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems, MOEMS）是当今尖端科技领域中一个极具潜力的交叉学科。它巧妙地将微电子学、微机械学、光学以及系统集成技术融为一体，旨在制造出尺寸微小、功能集成度高、性能卓越的新型器件和系统。其核心在于利用微纳制造工艺，在微米甚至纳米尺度上，制造出能够操控光信号、进行电信号处理以及实现机械运动的微型化组件，并将其高效地集成起来，形成一个协同工作的整体。 MOEMS 的“微”体现在其构件的尺寸，从几个微米到数百微米不等，远小于传统的宏观器件。这种微型化带来了诸多优势，包括极低的功耗、极高的集成密度、更快的响应速度以及更低的制造成本。其“光”指向系统对光信号的敏感性、操控能力以及光信息传输的功能。“机电”则强调了系统中包含的机械运动部件以及电信号对这些机械部件的驱动和控制。“系统”的含义则表明，MOEMS 不仅仅是单个器件的堆砌，而是通过精巧的设计，将多个功能单元有机地结合，实现更复杂、更强大的功能。 二、 关键技术支柱 MOEMS 的实现依赖于多项关键技术，它们相互支撑，共同推动了该领域的进步： 1. 微纳制造技术： 这是 MOEMS 的基石。先进的微纳加工技术，如光刻（photolithography）、刻蚀（etching，干法和湿法）、薄膜沉积（thin-film deposition，如CVD、PVD）、微电子互连工艺等，是实现微小结构精确成型和器件集成的关键。特别是针对光学和机械部件的特殊要求，需要发展具有高精度、高选择性和良好表面质量的加工工艺。 2. 微机械系统（MEMS）技术： MEMS 是 MOEMS 的重要组成部分，提供了微小的机械执行器、传感器和结构。这些微型机械部件能够实现精密的位移、角度控制、振动、力 sensing 等，为 MOEMS 的光学功能提供了物理基础。例如，微反射镜、微致动器、微谐振器等都属于 MEMS 的范畴。 3. 微光学技术： 微光学关注微尺寸光学元件的设计、制造和集成，如微透镜、微反射镜、光栅、波导、光纤耦合器等。这些微型光学元件能够实现光信号的聚焦、衍射、耦合、分束、偏振等功能，是 MOEMS 实现光学信息处理的核心。 4. 微电子技术： 微电子技术为 MOEMS 提供了智能化的控制和信号处理能力。通过集成微处理器、 ASIC（专用集成电路）或其他电子元件，可以实现对 MOEMS 器件的精确控制、数据采集、信号处理和系统级功能。 5. 封装与集成技术： 如何将这些不同性质的微型器件（光学、机械、电子）稳定、可靠地集成到一个封装中，并保证它们之间的协同工作，是 MOEMS 系统实现的关键挑战。这涉及到先进的键合技术、封装材料、以及对复杂三维结构的精确定位和连接。 三、 核心功能与潜在应用 MOEMS 的独特设计使其能够实现一系列强大的功能，并在众多领域展现出巨大的应用潜力： 1. 光信号的操控与调制： MOEMS 可以实现对光信号的精确控制，如光开关、光调制器、光栅扫描器、可变衰减器等。通过微型化的机械部件对光学元件进行物理移动或形变，可以改变光路的走向、光的强度、频率或相位。 2. 微型化光学传感与成像： 将微型光学元件与微型传感器集成，可以构建出高灵敏度、高分辨率的微型光学传感器，用于检测光信号、化学物质、生物分子等。例如，微型光谱仪、微型生物传感器、微型成像系统等。 3. 快速、低功耗的光学检测与处理： MOEMS 具备快速响应能力，能够实现高速的光学检测和信息处理。其低功耗特性也使其非常适合应用于便携式设备和对能量有限制的场景。 4. 集成化、模块化的光学系统： MOEMS 能够将原本庞大、复杂的精密光学系统，通过微纳制造技术集成到指甲盖大小的芯片上，实现功能的高度集成和模块化，降低了系统的体积、重量和成本。 四、 典型应用领域展望 MOEMS 的发展正在深刻影响着诸多行业： 1. 通信与信息技术： 在光通信领域，MOEMS 被广泛应用于光纤到户（FTTH）的无源光网络（PON）中的光分插复用器（OADM）、光开关、光收发模块等。其快速、低功耗的特性为构建更高效、更灵活的光网络提供了可能。 2. 显示技术： 微型扫描镜阵列（如LCoS、DMD技术的演进）是 MOEMS 在显示领域的核心应用，可以实现高分辨率、高亮度、高对比度的投影显示。 3. 生物医疗： 微型光谱仪、微流控芯片上的集成光学检测系统，以及用于药物筛选、疾病诊断的微型生物传感器，都为医疗诊断和生命科学研究带来了革命性的进步。 4. 汽车工业： 用于高级驾驶辅助系统（ADAS）的微型激光雷达（LiDAR）、车内环境监测传感器，以及用于抬头显示（HUD）的光学引擎，都是 MOEMS 在汽车领域的重要应用。 5. 消费电子： 智能手机中的微型投影仪、生物识别传感器（如光学指纹识别）、以及用于增强现实（AR）和虚拟现实（VR）设备的光学模组，都将受益于 MOEMS 技术的发展。 6. 工业制造与计量： 微型光学测量仪器、高精度激光加工系统、以及用于无损检测的光学探头，都在工业领域展现出巨大的潜力。 五、 挑战与未来发展方向 尽管 MOEMS 技术前景广阔，但仍面临一些挑战。例如，如何进一步提高器件的可靠性和稳定性，如何降低制造成本，如何实现更复杂的系统集成，以及如何开发更先进的控制算法等，都是需要持续研究的方向。 未来，MOEMS 的发展将朝着更高集成度、更强大的功能、更低的功耗、更广的应用领域迈进。随着新材料、新工艺、新理论的不断涌现，MOEMS 将在推动人类科技进步和改善生活质量方面发挥越来越重要的作用。 《微光机电系统》旨在深入探讨 MOEMS 的基础理论、关键技术、设计方法、制造工艺以及最新的应用进展，为研究人员、工程师和学生提供一个全面、深入的学习和研究平台，共同推动这一前沿科技领域的创新与发展。

评分☆☆☆☆☆

我的职业是从事光学器件的研发，我们一直在探索如何将光学功能做得更小、更集成。当我在书店看到《微光机电系统》这本书时，立刻就被这个标题吸引住了。它所涵盖的“微”、“光”、“机电”这三个关键词，恰恰是我目前工作和研究的焦点。我一直认为，光学、机械和电子的深度融合，是未来高端仪器和设备发展的重要方向。这本书的名字让我联想到一些非常先进的技术，比如微型投影仪、微型激光雷达、甚至是一些在生物医学领域应用的微型光学检测设备。我迫不及待地想知道，这本书是如何将这些复杂的概念和技术融会贯通的。我希望它能够详细介绍微光机电系统（MOMS）的基本构成，包括微型光学元件（如微透镜、微棱镜、光栅等）的设计与制造，微型执行器（如微电机、微致动器）的工作原理，以及微电子控制单元如何与这些部件协同工作。我尤其关注书中关于微型光源、微型探测器以及光信号在微纳尺度下的传播和调制的技术。我还希望这本书能够提供一些关于MOMS在实际工程应用中的案例分析，比如在通信、显示、传感、成像等领域的最新研究成果和发展趋势。我相信，这本书能够为我的研究提供宝贵的理论指导和技术参考，帮助我更好地理解和设计下一代的光学器件。

评分☆☆☆☆☆

作为一个对微电子技术和精密机械制造充满好奇的学习者，我一直在寻找能够将这两者深度结合的知识。“微光机电系统”这个书名，在我看来，就像是连接微观世界和宏观功能的桥梁。它暗示了一种技术，能够将光学的精妙、机械的精确以及电子的智能巧妙地融合在一起，创造出前所未有的设备。我常常想象，那些能够在微小空间内实现复杂光学操作的设备，会是怎样的构造和原理。这本书的出现，让我觉得我的好奇心将得到极大的满足。我希望它能够详细地介绍微光机电系统（MOMS）的设计理念，包括如何将光学元件、微型机械装置和微电子电路集成到一个微小的平台上。我尤其对书中关于微型光学传感器的部分感到期待，比如如何利用光信号来测量微小的位移、形变、甚至生物分子的浓度。我设想，书中会用大量的插图和模型来解释这些复杂的概念，让即使是初学者也能轻松理解。我也希望这本书能介绍一些先进的制造工艺，比如微纳加工技术，以及如何通过这些工艺来实现MOMS的批量生产。读完这本书，我希望能够对MOMS的整体技术框架、关键挑战以及未来发展方向有一个深刻的认识，为我未来的学习和职业规划提供指引。

评分☆☆☆☆☆

我是一名软件工程师，但同时对硬件的底层实现和物理原理也抱有极大的兴趣，尤其是那些与光学和精密工程相关的领域。我常常在想，现代科技中的许多突破，都离不开对微小事物的精妙操控。当我在书架上看到“微光机电系统”这本书时，这个标题立刻引起了我的注意。它涵盖了“微”、“光”、“机电”这三个看似独立的领域，预示着一个高度集成的技术体系。“微光机电系统”这个概念，在我看来，代表了未来智能化设备的核心发展方向，无论是微型传感器、微型执行器，还是集成化的光学处理单元，都离不开这个技术体系的支撑。我希望这本书能够清晰地阐述微光机电系统（MOMS）的基本构成原理，包括如何设计和制造微型的光学器件，如何利用微型机械结构实现精确的运动和传感，以及如何通过微电子电路实现对整个系统的控制。我尤其对书中关于光与物质相互作用的微观机制、微纳光子器件的设计方法，以及MEMS技术在光学领域的创新应用感到好奇。我设想，这本书可能会为我打开一个全新的技术视角，让我理解那些在肉眼不可见尺度下发生的奇妙物理现象，以及如何将这些现象转化为实际应用。

评分☆☆☆☆☆

我一直对未来科技的发展趋势非常关注，特别是那些能够 miniaturize 并且提高效率的技术。“微光机电系统”这个书名，听起来就非常具有前瞻性，仿佛预示着一个微观世界的无限可能。我一直对光学技术在微型设备中的应用感到好奇，比如如何将光信号的处理和传输集成到微小的芯片中，以及如何通过微小的机械结构来控制光路。这本书的出现，正好满足了我对这方面的求知欲。我拿到书后，第一眼就被它严谨而富有设计感的封面所吸引，仿佛在诉说着这是一个关于精密、智慧和未来的故事。我期待这本书能够深入浅出地讲解微光机电系统的基本原理，包括光与物质的相互作用、微型光学元件的设计与制造，以及微型机械部件的集成和控制。我尤其对书中关于光信号的传感和处理技术感兴趣，希望能了解如何通过微小的光学传感器来探测各种物理量，以及如何将这些信息转化为可用的电信号。我还希望这本书能够提供一些关于微光机电系统在不同领域应用的案例，比如在通信、医疗、检测等方面的最新进展，让我看到这些技术是如何改变我们的生活的。我设想，这本书可能会包含大量的公式、图表和仿真结果，能够帮助我深入理解那些复杂的物理和工程原理。我希望通过阅读这本书，能够为我打开一扇通往微观技术世界的大门，让我对未来科技的发展有更清晰的认识。

评分☆☆☆☆☆

我的专业方向是材料科学，我一直关注那些能够利用材料的微观特性来实现宏观功能的先进技术。“微光机电系统”这个书名，就仿佛为我打开了一扇通往微观世界奥秘的大门。它暗示着一种将材料科学、光学工程、机械工程和电子工程紧密结合的技术体系，能够创造出具有非凡性能的微型设备。我常常思考，在如此微小的尺度下，材料的物理化学性质如何影响光信号的产生、传输和探测，微小的机械结构又是如何通过材料来实现精确的变形和运动。这本书的出现，正是我探寻这些问题的绝佳机会。我期待它能够详细介绍微光机电系统（MOMS）涉及到的关键材料，比如用于构建微型光学元件的高折射率材料、用于制作微型执行器的压电材料或形状记忆合金，以及用于集成电路的半导体材料。我希望书中能够阐述这些材料的微观结构、性能特点以及它们在MOMS中的具体应用。同时，我也对书中关于微纳加工技术和材料表征方法的内容感到好奇，因为这些是实现高性能MOMS的基础。读完这本书，我希望能够对MOMS的材料基础、设计原理以及潜在应用有一个全面的了解，为我未来的材料研发提供新的思路和方向。

评分☆☆☆☆☆

作为一个对精密仪器和传感技术有着浓厚兴趣的学习者，我一直在寻找能够深入了解微纳尺度下工作原理的书籍。“微光机电系统”这个书名，就像一个谜语，既有“微”的精致，“光”的灵动，又有“机电”的严谨，充满了吸引力。我常常思考，在如此微小的尺度下，光、机械和电子是如何协同工作，创造出令人惊叹的功能的。这本书的到来，仿佛是为我揭开了这个谜底。我迫不及待地翻开它，希望它能够详细地介绍微光机电系统（MOMS）是如何构建的，包括光路的构建、微型执行器和传感器的设计，以及它们与微电子控制单元的集成。我尤其对光学传感部分感兴趣，比如如何利用光信号来检测微小的位移、压力、温度甚至是生物分子的存在。我设想，书中会包含大量的图示和原理示意图，能够将那些抽象的光学和力学概念可视化，让我更容易理解。同时，我也希望这本书能够介绍一些前沿的制造工艺，比如光刻、刻蚀、薄膜沉积等，这些都是实现微光机电系统必不可少的环节。读完这本书，我希望能够对MOMS的整体架构、关键技术和潜在应用有一个清晰的认识。我设想，它可能会带我走进微型光学显微镜、微型光谱仪、甚至是微型陀螺仪的世界，让我看到这些精密设备是如何在肉眼不可见的尺度上完成复杂任务的。

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我是一名电子工程专业的学生，在学习过程中，我越来越发现，未来的技术发展趋势是“小而精”。“微光机电系统”这个书名，就准确地抓住了这一核心。它不仅仅是关于微型化，更是关于如何将“光”的能量、“机”的精确、“电”的智能有机地结合起来，创造出具有更强大功能的系统。我一直对微型传感器和微型驱动器很感兴趣，想象着它们如何在微小的空间内完成复杂的任务，而“微光机电系统”似乎是将这些可能性提升到了一个新的高度。我期待这本书能够详细介绍微光机电系统（MOMS）的设计原理，包括如何利用微纳光学器件实现光信号的精确控制和探测，如何通过微型机械结构实现精准的运动和传感，以及如何用微电子电路来驱动和协调整个系统。我尤其对书中关于微型光源、微型成像系统和微型通信模块的介绍感到好奇。我设想，这本书会为我提供丰富的理论知识和实例分析，帮助我理解这些前沿技术是如何工作的，以及它们在未来科技发展中的重要作用。我希望通过阅读这本书，能够对MOMS有一个系统性的认识，为我未来的学习和研究方向提供启发。

评分☆☆☆☆☆

这本书的封面设计就充满了科技感，那种深邃的蓝色背景，加上若隐若现的光线和复杂的微小器件轮廓，一下子就抓住了我的眼球。拿到手里，厚实又有质感，拿到书的时候，我正在为我那个关于微流控芯片的实验项目寻找理论支持，总觉得现有的一些文献资料过于分散，不够系统。这本书的标题“微光机电系统”立刻引起了我的兴趣，虽然不是我直接研究的微流控，但“微”、“光”、“机电”这几个词的组合，让我预感到这里面可能蕴含着一些我需要的信息，或者能给我带来新的启发。我翻开目录，看到里面涵盖了光微电子学、MEMS技术、微光学元件、光信号处理、甚至还有一些生物医学应用方面的章节。这让我意识到，这本书可能是一个非常全面的概述，它将这些看似独立的领域巧妙地联系起来，描绘了一个更加广阔的技术图景。我尤其对那些关于“微光”部分的介绍感到好奇，因为在我的研究中，如何精确控制和探测微小的光信号一直是一个挑战，而这本书似乎能够提供一些理论基础和实现思路。我设想，它可能会深入讲解如何利用微纳结构来实现光的功能，比如光波导、光栅、微透镜等等，并且是如何与微小的机械结构和电子元件结合，形成一个协同工作的系统。这让我对这本书的期待值瞬间拉满，我觉得它可能不仅仅是一本技术手册，更像是一扇通往未来微纳世界的大门，能够帮助我拓展视野，看到更多可能性。而且，我喜欢那种能够将复杂原理讲得清晰易懂的书籍，我希望这本书能够做到这一点，即使有些内容对我来说是全新的领域，也能让我逐步理解。

评分☆☆☆☆☆

我是在一个技术论坛上偶然看到有人推荐这本书的，当时讨论的话题是如何在微型设备中实现更高级的传感和控制功能。很多人都提到了“微光机电系统”这个概念，并且认为它代表了下一代智能设备的发展方向。我一直对机器人技术和自动化系统很感兴趣，尤其关注那些可以做到极其微小、极其精确的设备，比如微型手术机器人、微型检测仪器等。这本书的标题“微光机电系统”正是精准地戳中了我的兴趣点。我拿到书后，先粗略地翻阅了一下，发现它不仅仅是理论的堆砌，还穿插了不少实际的案例和应用场景的描述，这对我来说非常重要。我希望能够通过这本书了解，如何将光学器件、微机电系统（MEMS）和电子控制技术融合在一起，创造出具有更强功能、更小体积的设备。例如，我一直对微型摄像头和图像传感器很感兴趣，希望了解它们是如何在如此微小的尺度下实现高分辨率成像的，以及光信号如何被有效地转化为电信号。这本书的章节设置，似乎也暗示了这一点，从基础的光学原理到具体的器件设计，再到系统集成和应用，一条清晰的学习路径展现在眼前。我期待这本书能够详细介绍各种微纳光电器件的设计原理、制造工艺以及性能优化方法。同时，我也想了解这些系统在实际中是如何工作的，比如它们是如何响应外界的微小变化，又是如何通过光信号和机械运动来传递信息和执行动作的。我相信，这本书能为我打开一个全新的认知维度，让我对微观世界的智慧和可能性有更深刻的理解。

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我一直对那些能够改变世界的小巧而强大的技术充满着向往，而“微光机电系统”这个书名，恰恰勾勒出了这样一种前沿的科技图景。它不仅仅是简单的“微型化”，更是将“光”的灵动、“机”的精密、“电”的智能三者融为一体，创造出拥有全新功能的系统。我一直思考，在极小的尺度下，光是如何被操纵和利用的，微小的机械结构又是如何实现精确的运动和传感，而电子系统又如何驱动和协调这一切。这本书的标题，让我觉得它能够解答这些疑问。我期待它能深入介绍微光机电系统（MOMS）的核心技术，包括微型光学元件的设计与制造、微型执行器和传感器的原理与应用，以及如何将它们与微电子控制系统进行有效的集成。我尤其对书中关于光信号的产生、传播、检测和处理方面的内容感兴趣，希望能够了解到如何利用光来实现高精度测量、高效通信，甚至是微观世界的成像。我设想，书中可能会包含一些关于MEMS技术在光学领域的应用，以及光子学与微电子学的交叉研究进展。我相信，这本书能够为我提供一个系统性的知识框架，让我更好地理解和把握微光机电系统这一新兴技术领域的发展脉络。

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原著作者有名，内容丰富，是学习MOEMS很好的入门基础书。建议和英文原版书对照着看，这样更能促进内容的理解。另，期待新版！

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和最近在YY的课题有关，可以提高YY的水平

评分☆☆☆☆☆

听别人介绍过是一本不错的专业书籍，买来不久，要仔细拜读一下。

评分☆☆☆☆☆

外国关于微光机电系统的书，作者写的不错，虽然只是打酱油中，感觉还可以。

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好

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外国关于微光机电系统的书，作者写的不错，虽然只是打酱油中，感觉还可以。

评分☆☆☆☆☆

外国关于微光机电系统的书，作者写的不错，虽然只是打酱油中，感觉还可以。

评分☆☆☆☆☆

原著作者有名，内容丰富，是学习MOEMS很好的入门基础书。建议和英文原版书对照着看，这样更能促进内容的理解。另，期待新版！