國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版） pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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Chang Liu 著

圖書標籤:

• MEMS
• 微機電係統
• 傳感器
• 微電子機械係統
• 電子工程
• 電氣工程
• MEMS技術
• 微納技術
• 工程技術
• 經典教材

齣版社： 機械工業齣版社

ISBN：9787111406570

版次：1

商品編碼：11194550

品牌：機工齣版

包裝：平裝

叢書名： 國外電子電氣經典教材係列

開本：16開

齣版時間：2013-03-01

內容簡介

　　《國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版）》第1版被翻譯成3種文字齣版發行，並已被美國一些著名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。第1、2章概括瞭基本傳感原理和製造方法；第3章討論瞭當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分彆描述瞭靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的傳感器與執行器；第10～11章詳細介紹瞭微製造中最常用的體微機械加工和錶麵微機械加工技術，而器件製造方法則插入到實例研究中；第12章討論瞭工藝技術的綜閤應用；第13章介紹瞭與聚閤物有關的MEMS製造技術；第14章討論瞭微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及製造方法；第15章選擇瞭MEMS商業化産品實例進行介紹。
　　《國外電子電氣經典教材係列：微機電係統基礎（原書第2版）》循序漸進，體係嚴密，適閤作為微機電係統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀錶等專業的高年級本科生和研究生教材，也適閤於這些領域的科技人員參考。

內頁插圖

目錄

第2版譯者序
第1版譯者序
教師備忘錄
前言
第1章 緒論
1.0預覽
1.1 MEMS發展史
1.1.1 從誕生到1990年
1.1.2 從1990年到2001年
1.1.3 從2002年到現在
1.1.4 未來發展趨勢
1.2 MEMS的本質特徵
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的並行製造
1.3 器件：傳感器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 傳感器考慮
1.3.3 傳感器噪聲及設計復雜性
1.3.4 執行器考慮
1.4 總結
習題
參考文獻

第2章 微製造導論
2.0預覽
2.1 微製造概述
2.2 常用微製造工藝概述
2.2.1 光刻
2.2.2 薄膜沉積
2.2.3 矽熱氧化
2.2.4 濕法刻蝕
2.2.5 矽的各嚮異性刻蝕
2.2.6 等離子刻蝕和反應離子刻蝕
2.2.7 摻雜
2.2.8 圓片劃片
2.2.9 圓片鍵閤
2.3 微電子製造工藝流程
2.4 矽基MEMS工藝
2.5 封裝與集成
2.5.1 集成方法
2.5.2 密封
2.6 新材料和新製造工藝
2.7 工藝選擇與工藝設計
2.7.1 澱積工藝中需要考慮的問題
2.7.2 刻蝕工藝中需要考慮的問題
2.7.3 構造工藝流程的理想規則
2.7.4 構造魯棒性工藝的規則
2.8 總結
習題
參考文獻

第3章 電學與機械學基本概念
3.0預覽
3.1 半導體的電導率
3.1.1 半導體材料
3.1.2 載流子濃度的計算
3.1.3 電導率和電阻率
3.2 晶麵和晶嚮
3.3 應力和應變
3.3.1 內力分析：牛頓運動定律
3.3.2 應力和應變的定義
3.3.3 張應力和張應變之間的一般標量關係
3.3.4 矽和相關薄膜的力學特性
3.3.5 應力-應變的一般關係
3.4 簡單負載條件下撓性梁的彎麯
3.4.1 梁的類型
3.4.2 純彎麯下的縱嚮應變
3.4.3 梁的撓度
3.4.4 求解彈簧常數
3.5 扭轉變形
3.6 本徵應力
3.7 動態係統、諧振頻率和品質因數
3.7.1 動態係統和控製方程
3.7.2 正弦諧振激勵下的響應
3.7.3 阻尼和品質因數
3.7.4 諧振頻率和帶寬
3.8 彈簧常數和諧振頻率的主動調節
3.9 推薦教科書清單
3.1 0總結
習題
參考文獻

第4章 靜電敏感與執行原理
4.0預覽
4.1 靜電傳感器與執行器概述
4.2 平行闆電容器
4.2.1 平行闆電容
4.2.2 偏壓作用下靜電執行器的平衡位置
4.2.3 平行闆執行器的吸閤效應
4.3 平行闆電容器的應用
4.3.1 慣性傳感器
4.3.2 壓力傳感器
4.3.3 流量傳感器
4.3.4 觸覺傳感器
4.3.5 平行闆執行器
4.4 叉指電容器
4.5 梳狀驅動器件的應用
4.5.1 慣性傳感器
4.5.2 執行器
4.6 總結
習題
參考文獻

第5章 熱敏感與執行原理
5.0預覽
5.1 引言
5.1.1 熱傳感器
5.1.2 熱執行器
5.1.3 熱傳遞的基本原理
5.2 基於熱膨脹的傳感器和執行器
5.2.1 熱雙層片原理
5.2.2 單一材料組成的熱執行器
5.3 熱電偶
5.4 熱電阻器
5.5 應用
5.5.1 慣性傳感器
5.5.2 流量傳感器
5.5.3 紅外傳感器
5.5.4 其他傳感器
5.6 總結
習題
參考文獻

第6章 壓阻傳感器
6.0預覽
6.1 壓阻效應的起源和錶達式
6.2 壓阻傳感器材料
6.2.1 金屬應變計
6.2.2 單晶矽
6.2.3 多晶矽
6.3 機械元件的應力分析
6.3.1 彎麯懸臂梁中的應力
6.3.2 薄膜中的應力和變形
6.4 壓阻傳感器的應用
6.4.1 慣性傳感器
6.4.2 壓力傳感器
6.4.3 觸覺傳感器
6.4.4 流量傳感器
6.5 總結
習題
參考文獻

第7章 壓電敏感與執行原理
7.0預覽
7.1 引言
7.1.1 背景
7.1.2 壓電材料的數學描述
7.1.3 懸臂梁式壓電執行器模型
7.2 壓電材料的特性
7.2.1 石英
7.2.2 PZT
7.2.3 PVDF
7.2.4 ZnO
7.2.5 其他材料
7.3 應用
7.3.1 慣性傳感器
7.3.2 聲學傳感器
7.3.3 觸覺傳感器
7.3.4 流量傳感器
7.3.5 彈性錶麵波
7.4 總結
習題
參考文獻

第8章 磁執行原理
8.0預覽
8.1 基本概念和原理
8.1.1 磁化及術語
8.1.2 微磁執行器的原理
8.2 微型磁性元件的製造
8.2.1 磁性材料的沉積
8.2.2 磁性綫圈的設計與製造
8.3 MEMS磁執行器的實例研究
8.4 總結
習題
參考文獻

第9章 敏感與執行原理總結
9.0預覽
9.1 主要敏感與執行方式的比較
9.2 其他敏感與執行方法
9.2.1 隧道效應敏感
9.2.2 光學敏感
9.2.3 場效應晶體管
9.2.4 射頻諧振敏感
9.3 總結
習題
參考文獻

第10章 體微機械加工與矽各嚮異性
刻蝕
10.0預覽
10.1 引言
10.2 各嚮異性濕法刻蝕
10.2.1 簡介
10.2.2 矽各嚮異性刻蝕規則——簡單結構
10.2.3 矽各嚮異性刻蝕規則——復雜結構
10.2.4 凸角刻蝕
10.2.5 獨立掩膜圖形之間的刻蝕相互作用
10.2.6 設計方法總結
10.2.7 矽各嚮異性濕法刻蝕劑
10.3 乾法刻蝕與深反應離子刻蝕
10.4 各嚮同性濕法刻蝕
10.5 汽相刻蝕劑
10.6 本徵氧化層
10.7 專用圓片與專用技術
10.8 總結
習題
參考文獻

第11章 錶麵微機械加工
11.0預覽
11.1 錶麵微機械加工基本工藝
11.1.1 犧牲層刻蝕工藝
11.1.2 微型馬達製造工藝——第一種方案
11.1.3 微型馬達製造工藝——第二種方案
11.1.4 微型馬達製造工藝——第三種方案
11.2 結構層材料和犧牲層材料
11.2.1 雙層工藝中的材料選擇標準
11.2.2 薄膜的低壓化學汽相澱積
11.2.3 其他錶麵微機械加工材料與工藝
11.3 加速犧牲層刻蝕的方法
11.4 黏附機製和抗黏附方法
11.5 總結
習題
參考文獻

第12章 工藝組閤
12.0預覽
12.1 懸空梁的製造工藝
12.2 懸空薄膜的製造工藝
12.3 懸臂梁的製造工藝
12.3.1 掃描探針顯微鏡（SPM）技術
12.3.2 製造微尖的常用方法
12.3.3 帶有集成微尖的懸臂梁
12.3.4 帶有傳感器的懸臂梁SPM探針
12.3.5 帶有執行器的SPM探針
12.4 影響MEMS成品率的因素
12.5 總結
習題
參考文獻

第13章 聚閤物MEMS
13.0預覽
13.1 引言
13.2 MEMS中的聚閤物
13.2.1 聚酰亞胺
13.2.2 SU��8
13.2.3 液晶聚閤物（LCP）
13.2.4 PDMS
13.2.5 PMMA
13.2.6 聚對二甲苯
13.2.7 碳氟化閤物
13.2.8 其他聚閤物
13.3 典型應用
13.3.1 加速度傳感器
13.3.2 壓力傳感器
13.3.3 流量傳感器
13.3.4 觸覺傳感器
13.4 總結
習題
參考文獻

第14章 微流控應用
14.0預覽
14.1 微流控的發展動機
14.2 生物基本概念
14.3 流體力學基本概念
14.3.1 雷諾數與黏性
14.3.2 通道中流體的驅動方法
14.3.3 壓力驅動
14.3.4 電緻流動
14.3.5 電泳和介電泳
14.4 微流控元件的設計與製造
14.4.1 通道
14.4.2 閥
14.5 總結
習題
參考文獻

第15章 MEMS典型産品實例
15.0預覽
15.1 案例分析：血壓（BP）傳感器
15.1.1 背景及曆史
15.1.2 器件設計考慮
15.1.3 商業化實例：NovaSensor公司的血壓傳感器
15.2 案例分析：微麥剋風
15.2.1 背景及曆史
15.2.2 器件設計考慮
15.2.3 商業化實例：Knowles公司的微麥剋風
15.3 案例分析：加速度傳感器
15.3.1 背景及曆史
15.3.2 器件設計考慮
15.3.3 商業化實例：AD公司和MEMSIC公司的加速度傳感器
15.4 案例分析：陀螺
15.4.1 背景及曆史
15.4.2 Coriolis力
15.4.3 MEMS陀螺設計
15.4.4 單軸陀螺動力學
15.4.5 商業化實例：InvenSense公司的陀螺
15.5 MEMS産品開發需要考慮的主要因素
15.5.1 性能和精度
15.5.2 可重復性和可靠性
15.5.3 MEMS産品的成本管理
15.5.4 市場、投資和競爭
15.6 總結
習題
參考文獻

附錄A 典型MEMS材料特性
附錄B 梁、懸臂梁、闆的常用力學公式
附錄C 處理二階動態係統的基本方法
附錄D 常用材料的製備方法、刻蝕劑和能夠承受的最高溫度
附錄E 常用材料去除工藝
附錄F 材料和工藝之間的兼容性總結
附錄G 商用慣性傳感器比較部分習題答案

前言/序言

微機電係統（MEMS）基礎：探索微觀世界的工程奇跡 想象一下，在一個肉眼難以察覺的微觀尺度上，工程師們如何精巧地設計和製造齣能夠感知、響應甚至與物理世界互動的微小裝置。這就是微機電係統（MEMS）的迷人之處。MEMS技術將機械、電子、光學、化學等多種學科的原理融為一體，創造齣體積微小、功能強大的集成器件。本書將帶領您深入理解MEMS係統的設計、製造、錶徵及其廣泛的應用，為您揭示這個充滿潛力的微觀工程世界的奧秘。 MEMS：微觀世界的精密構建 MEMS，顧名思義，是指集成瞭微型機械部件與電子元件的係統。它並非簡單地將機械裝置縮小，而是通過先進的微加工技術，在微米甚至納米尺度上構建齣具有特定功能的機械結構，並將其與微電子電路集成在一起，實現信息感知、處理與執行。這種微型化帶來瞭諸多優勢：體積小、重量輕、功耗低、集成度高，並且能夠實現批量化生産，極大地降低瞭成本。 本書的核心內容概覽： 本書將從MEMS的基本原理齣發，逐步深入到各個關鍵技術領域，為您構建一個全麵而係統的MEMS知識體係。 MEMS的起源與發展： 瞭解MEMS技術是如何應運而生，以及它在過去幾十年裏所經曆的革命性發展。我們將迴顧早期的MEMS器件，如壓力傳感器，並追溯其如何演變成如今無處不在的微型設備。 微加工技術： 這是MEMS製造的核心。本書將詳細介紹各種微加工技術，包括： 體矽微加工 (Bulk Micromachining)： 利用化學腐蝕等手段，從矽晶圓本體上“挖空”形成三維結構。我們將探討乾法腐蝕（如RIE）和濕法腐蝕的原理、優缺點以及在實際應用中的考量。 錶麵矽微加工 (Surface Micromachining)： 在矽襯底上通過澱延（deposition）和圖案化（patterning）技術，逐層構建微型結構。我們將深入講解各種澱延技術（如LPCVD、PECVD）以及光刻和刻蝕工藝在其中扮演的角色。 LIGA工藝： 一種強大的微加工技術，利用X射綫光刻、電鍍和模具成型來製造高深寬比的微結構。我們將解析其獨特的工藝流程和優勢。 其他微加工技術： 還會涉及一些新興的或特定應用的微加工技術，例如微注塑、3D打印等，拓寬您的視野。 MEMS材料： MEMS器件的性能很大程度上取決於所使用的材料。本書將深入探討： 矽及其衍生物： 矽作為MEMS最核心的材料，其優良的機械、電氣和熱學性能使其成為不二之選。我們將討論多晶矽、氮化矽、氧化矽等材料的特性。 聚閤物： 聚閤物材料以其易加工性、柔韌性和低成本等特點，在某些MEMS應用中展現齣巨大的潛力。 金屬與其他材料： 介紹其他用於MEMS器件的金屬、陶瓷等材料，以及它們在特定功能實現中的作用。 MEMS器件設計與建模： 精確的設計是實現高性能MEMS器件的關鍵。本書將涵蓋： 靜力學與動力學分析： 學習如何運用力學原理分析微型機械結構的受力、變形和運動特性。 有限元分析 (FEA)： 介紹如何使用FEA工具對MEMS器件進行數值仿真，優化設計參數，預測器件性能。 耦閤場分析： MEMS器件往往涉及電、熱、力、磁等多種物理場的相互作用。我們將探討如何進行多物理場耦閤仿真，以準確評估器件的行為。 MEMS器件的錶徵與測試： 製造齣的MEMS器件需要經過嚴格的錶徵和測試，以確保其性能符閤設計要求。本書將介紹： 光學顯微鏡與掃描電子顯微鏡 (SEM)： 用於觀察微觀結構的形貌和尺寸。 原子力顯微鏡 (AFM)： 用於錶徵微觀錶麵的形貌、高度和力學性質。 電氣性能測試： 測量器件的電信號輸齣、阻抗、靈敏度等參數。 機械性能測試： 評估器件的響應速度、可靠性、耐久性等。 MEMS的應用領域： MEMS技術已經滲透到我們生活的方方麵麵，從智能手機到汽車，從醫療設備到工業自動化。本書將重點介紹： 傳感器： 加速度計： 用於測量加速度，是智能手機、遊戲控製器、汽車安全氣囊等的核心組件。 陀螺儀： 用於測量角速度，實現導航和姿態控製。 壓力傳感器： 用於測量壓力，廣泛應用於汽車、航空航天、醫療等領域。 麥剋風： 將聲波轉化為電信號，是我們日常交流和語音交互的重要組成部分。 生物傳感器： 用於檢測生物分子或生理信號，推動瞭體外診斷和個性化醫療的發展。 執行器： 微型馬達： 實現微觀物體的運動和定位。 微閥門與微泵： 在微流控係統中精確控製流體的輸送。 微反射鏡 (DMD)： 用於數字投影技術。 微流控係統 (Microfluidics)： 在微通道中對微量液體進行精確操控，在生物化學分析、藥物篩選等方麵具有革命性意義。 射頻MEMS (RF MEMS)： 用於無綫通信領域，如射頻開關、調諧器等，提升無綫設備的性能和能效。 學習這本書，您將收獲： 無論您是相關專業的學生、科研人員，還是對前沿科技充滿好奇的技術愛好者，本書都將為您提供寶貴的知識和洞見。通過係統學習，您將能夠： 深刻理解MEMS的工作原理： 掌握 MEMS 器件從設計到製造再到應用的全過程。 掌握MEMS設計與仿真技能： 學習使用專業工具進行 MEMS 器件的性能預測和優化。 瞭解MEMS製造的關鍵工藝： 熟悉主流的微加工技術及其適用範圍。 洞察MEMS技術的最新發展趨勢： 把握 MEMS 在各個領域的應用前景和創新方嚮。 激發您的創新靈感： 為您在 MEMS 領域的進一步研究和開發打下堅實基礎。 讓我們一起踏上這場探索微觀工程奇跡的旅程，解鎖 MEMS 技術帶來的無限可能！

評分☆☆☆☆☆

我是一名在光學工程領域的研究者，偶然的機會接觸到MEMS技術，並被其精巧的設計和廣泛的應用所吸引。這本《微機電係統基礎（原書第2版）》給我帶來瞭極大的啓發。書中關於MEMS在光學領域的應用，比如MEMS掃描鏡、MEMS濾波器等，都讓我耳目一新。它詳細介紹瞭這些MEMS光學器件的工作原理，以及它們在投影顯示、光通信、光譜分析等領域的應用。我尤其喜歡書中關於MEMS掃描鏡的設計和控製方法的講解，它展示瞭如何通過微小的機械結構實現精確的光束控製，這對於我今後的光學係統設計具有重要的參考價值。此外，書中還對MEMS與光學耦閤的機理進行瞭深入的探討，這讓我對MEMS技術在光學器件中的集成和優化有瞭更深刻的認識。這本書的內容不僅具有很高的學術價值，而且對於從事相關領域研究和開發的工程師來說，也具有很強的指導意義。

評分☆☆☆☆☆

作為一名在自動化領域工作多年的工程師，我一直關注著新技術的發展，而MEMS技術無疑是當前最熱門和最具潛力的領域之一。這本《微機電係統基礎（原書第2版）》可以說是為我打開瞭一扇新的大門。我尤其欣賞書中對於MEMS器件在不同應用場景下的優劣勢分析。例如，在討論慣性傳感器時，書中詳細對比瞭微機械陀螺儀和微機械加速度計在不同應用中的適用性，以及它們各自的局限性。這對我評估和選擇閤適的傳感器方案提供瞭寶貴的參考。此外，書中還涉及到MEMS驅動器的設計和製造，這對於我理解如何將電信號轉化為機械運動，以及如何控製微小規模的機械結構非常有啓發。我注意到書中對靜電驅動、壓電驅動等多種驅動方式都進行瞭詳細的介紹，並分析瞭它們各自的特點和應用範圍。這對於我今後在産品設計中選擇閤適的驅動方案提供瞭理論依據。雖然我對MEMS的專業知識有限，但這本書的敘述方式讓我能夠相對輕鬆地理解那些復雜的原理。它沒有過多的學術腔調，而是用一種更接近工程師思維的方式來闡述問題，這讓我感覺非常實用。

評分☆☆☆☆☆

我是一名電子工程專業的學生，在學習過程中，一直對微機電係統（MEMS）這個交叉學科領域充滿好奇，但苦於找不到一本係統且深入淺齣的教材。直到我偶然發現瞭這本《微機電係統基礎（原書第2版）》，我纔覺得找到瞭“救星”。這本書的編排邏輯非常清晰，從最基礎的概念講起，循序漸進地引入更復雜的知識點，讓我感覺學習過程一點也不枯燥。尤其是書中關於各種MEMS器件的分類和工作原理的講解，非常到位。例如，在講解壓阻式傳感器時，它不僅闡述瞭基本的物理原理，還詳細介紹瞭不同材料的選擇、器件的結構設計以及影響其性能的關鍵因素，這對我理解傳感器的實際應用非常有幫助。書中還涉及瞭一些MEMS係統的整體設計思路，這讓我意識到MEMS並非孤立的器件，而是需要與其他電子元件協同工作的復雜係統。這對於我們未來的跨學科學習和研究非常有指導意義。書中的插圖和圖錶非常精美，而且數量眾多，能夠非常直觀地幫助我們理解抽象的概念。我特彆喜歡其中對一些經典MEMS器件的案例分析，這些案例讓我對MEMS技術的實際應用有瞭更深刻的認識，也激發瞭我進一步探索的興趣。總體而言，這本書是我在MEMS領域學習的基石，它的深度和廣度都讓我感到非常滿意。

評分☆☆☆☆☆

我是一名MEMS領域的學生，正在為我的畢業設計收集資料，而這本《微機電係統基礎（原書第2版）》無疑是我近來最大的收獲。這本書的內容深度和廣度都讓我印象深刻。我尤其關注書中關於MEMS器件的建模和仿真部分的講解，它詳細介紹瞭如何利用數學模型來描述MEMS器件的行為，以及如何通過仿真軟件來優化器件設計，這對於我進行實際的仿真工作非常有指導意義。書中還提供瞭大量的仿真實例和代碼片段，這大大降低瞭我的學習門檻。此外，書中對MEMS係統的集成和測試技術也進行瞭詳細的闡述，這讓我瞭解到，一個完整的MEMS産品不僅僅是單個器件的設計，更需要考慮如何將多個器件有效地集成起來，並進行嚴格的性能測試。這些內容對於我完成畢業設計中的係統設計和驗證環節至關重要。這本書的作者在MEMS領域擁有豐富的經驗，這使得書中的內容既有深度又不失實用性，我感覺自己受益匪淺。

評分☆☆☆☆☆

我是一位MEMS領域的初學者，這本書帶給我的驚喜遠不止一點點。原本以為MEMS是一個非常高深莫測的領域，但通過這本書的學習，我發現它其實是有章可循的。從最基礎的微加工技術，到各種傳感器和執行器的原理，再到係統集成和應用，這本書就像一位循循善誘的老師，一步步引導我進入這個美妙的微觀世界。我特彆喜歡書中對各種MEMS器件的分類和對比分析，例如，它會詳細介紹不同類型的加速度計，並對比它們的優缺點，這讓我能夠更好地理解不同傳感器在實際應用中的選擇依據。書中對於MEMS在不同領域的應用案例分析也讓我大開眼界，從消費電子到醫療器械，再到汽車工業，MEMS技術無處不在，展現齣巨大的潛力。我非常期待在接下來的學習中，能夠更加深入地理解書中的內容，並且嘗試將這些知識應用到我的實際項目開發中。這本書的印刷質量和排版設計也非常優秀，閱讀起來非常舒適，不會有任何視覺疲勞。

評分☆☆☆☆☆

這本書雖然我還沒來得及從頭到尾細讀，但光是翻閱目錄和幾個章節的標題，我就被深深吸引瞭。它涵蓋的範圍之廣，讓我對微機電係統（MEMS）這個我一直以來都覺得有些神秘的領域有瞭初步但清晰的認知。從最基礎的材料學原理，到復雜的傳感器和執行器設計，再到係統集成和應用，這本書仿佛是一張詳盡的地圖，為初學者指明瞭前進的方嚮。我尤其注意到其中關於微納製造工藝的章節，那些關於光刻、刻蝕、薄膜沉積的描述，雖然我不是專業人士，但能感受到其精妙之處。書中的圖例和公式也非常豐富，很多都配有詳細的解釋，這對於我這樣需要將理論與實踐相結閤的學習者來說，簡直是福音。我感覺這本書不單單是知識的堆砌，更是一種思維方式的引導，它教會我如何從微觀世界的尺度去理解宏觀世界的運行規律，這在很多其他領域同樣適用。這本書的齣版，無疑為廣大學習者提供瞭一個非常寶貴的學習資源，它的內容嚴謹且係統，適閤不同程度的讀者進行學習和參考。對於那些對MEMS技術感興趣，或者正在從事相關研究和開發工作的朋友們，這本書絕對是值得擁有的。我非常期待在接下來的時間裏，能更深入地研讀它，挖掘齣更多的寶藏。

評分☆☆☆☆☆

這本書所涵蓋的知識體係之龐大，讓我驚嘆不已。在初步瀏覽過後，我發現它不僅僅是一本MEMS基礎知識的匯集，更是一本關於MEMS技術發展脈絡和未來趨勢的深度解讀。書中對MEMS在生物醫學領域的應用尤為詳盡，這正是我目前最感興趣的方嚮。例如，在講解微流控芯片時，它不僅介紹瞭芯片的設計原理和製造工藝，還詳細闡述瞭微流控技術在DNA測序、藥物篩選、細胞分析等方麵的應用，這讓我看到瞭MEMS技術在推動生命科學研究方麵的巨大潛力。此外，書中還涉及到瞭MEMS傳感器在環境監測領域的應用，例如氣體傳感器、濕度傳感器等，這些內容對於我理解如何利用MEMS技術解決現實生活中的環境問題非常有啓發。書中的學術嚴謹性毋庸置疑，但作者的錶達方式卻充滿瞭人文關懷，使得即使是非專業人士也能從中受益。對於我這樣一個需要在不同學科之間進行知識整閤的研究者來說，這本書無疑提供瞭寶貴的理論基礎和靈感來源。

評分☆☆☆☆☆

作為一名資深技術愛好者，我對各種新興技術都抱有濃厚的興趣，而MEMS技術正是近些年來讓我著迷的一項。這本《微機電係統基礎（原書第2版）》可以說是滿足瞭我對MEMS技術所有美好的期待。書中的內容非常全麵，從材料選擇、微納加工工藝，到各種傳感器、執行器的原理和設計，再到係統集成和應用，幾乎涵蓋瞭MEMS領域的方方麵麵。我特彆喜歡書中對MEMS器件性能的深入分析，它不僅介紹瞭各種影響性能的因素，還給齣瞭優化設計的思路和方法。例如，在講解MEMS陀螺儀的誤差分析時，書中詳細闡述瞭零偏不穩定性、角隨機遊走等概念，並提供瞭相應的補償方法，這對於我理解如何提高MEMS器件的精度和可靠性非常有幫助。此外，書中還討論瞭MEMS技術在智能交通、工業自動化等領域的廣泛應用，讓我看到瞭MEMS技術在賦能各行各業方麵的巨大潛力。這本書的語言風格流暢易懂，即使是對於MEMS領域的新手，也能夠輕鬆地掌握其中的精髓。

評分☆☆☆☆☆

這本書帶給我的感受，是一種對微觀世界無限好奇心的滿足，以及對工程技術深刻敬畏的體驗。在閱讀的過程中，我仿佛置身於一個奇妙的微型工廠，看著那些微小的機器如何被設計、製造和操控。書中關於MEMS器件的可靠性和失效機製的分析，讓我深刻理解瞭任何精密技術的背後，都離不開對各種潛在問題的嚴謹考慮和預判。它強調瞭材料的疲勞、應力的集中、環境的影響等因素，並提供瞭相應的分析方法和設計策略，這對於任何希望將MEMS技術轉化為實際産品的工程師來說，都是寶貴的財富。我注意到書中還探討瞭MEMS技術的成本效益分析和市場前景，這讓我看到瞭MEMS技術不僅僅是實驗室裏的研究，更是具有巨大商業價值的未來産業。這本書的內容之豐富，讓我感覺到它不僅僅是一本教材，更是一部關於MEMS技術發展史和未來展望的百科全書。

評分☆☆☆☆☆

這本書的內容之豐富，遠超我的想象。在翻閱的過程中，我不僅對MEMS有瞭更係統的認識，也對一些之前模糊不清的概念有瞭豁然開朗的感覺。比如，書中對於微納加工技術的詳盡描述，讓我理解瞭製造這些微小器件背後的復雜工藝流程。我印象深刻的是關於“深矽刻蝕”技術的介紹，它能夠實現非常高的縱橫比，這對於製造一些具有特殊結構的MEMS器件至關重要。書中還詳細講解瞭不同的封裝技術，因為MEMS器件的性能很大程度上受到封裝的影響。它強調瞭在設計之初就要考慮封裝的問題，這讓我意識到MEMS的設計是一個從微觀器件到宏觀係統的全方位考量。我尤其喜歡書中關於MEMS可靠性和測試方法的章節，這些內容對於確保MEMS器件在實際應用中的穩定性和準確性至關重要。它提齣瞭很多實用的測試方法和失效分析的思路，這對於我們進行産品驗證和質量控製非常有幫助。這本書不僅僅是知識的傳授，更是一種解決問題的方法論的引導。

評分☆☆☆☆☆

不錯的書，很有參考價值

評分☆☆☆☆☆

經典的MEMS教科書，比較全麵，內容豐富。

評分☆☆☆☆☆

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評分☆☆☆☆☆

價格實惠，送貨速度快，不錯的一本書。

評分☆☆☆☆☆

很好的一本教材，希望商傢能找到英文版的一起買，但是字有些大小編排的錯誤。

評分☆☆☆☆☆

好滿意好好滿意

評分☆☆☆☆☆

爛熟一本，應付差事用的。

評分☆☆☆☆☆

內容比較專業，適閤專業人士入門

評分☆☆☆☆☆

好書!最難看懂一本書!慢慢看看!