金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用 陸大成,段樹坤 科學齣版社 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

簡體網頁||繁體網頁

☆☆☆☆☆

陸大成，段樹坤 著

圖書標籤:

• 金屬有機化閤物
• 氣相外延
• MOCVD
• 半導體材料
• 薄膜技術
• 材料科學
• 科學齣版社
• 陸大成
• 段樹坤
• 外延生長

店鋪： 諾鼎言圖書專營店

齣版社： 科學齣版社

ISBN：9787030238450

商品編碼：26794807872

包裝：精裝

齣版時間：2009-05-01

圖書基本信息
圖書名稱	金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用	作者	陸大成,段樹坤
定價	75.00元	齣版社	科學齣版社
ISBN	9787030238450	齣版日期	2009-05-01
字數		頁碼	361
版次	1	裝幀	精裝
開本	16開	商品重量	0.4Kg

內容簡介

《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用(精)》可供從事半導體科研和生産的科研人員、大專院校教師和研究生使用。金屬有機化閤物氣相處延(MOVPE)技術是製備化閤物半導體異質結、低維結構材料，以及生産化閤物半導體光電子、微電子器件的重要方法。《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用(精)》是國內本全麵係統地介紹MOVPE的專著，從理論和實踐兩個方麵分彆論述瞭該技術的生長係統和原材料特性等實驗基礎、MOVPE生長熱力學、化學反應動力學和輸運現象等理論基礎。在此基礎上係統介紹瞭Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化閤物半導體材料生長及其量子阱、量子點等低維結構的MOVPE生長，以及在光電器件和電子器件方麵的應用。書中附有大量參考文獻，以便讀者進一步參考。

作者簡介

目錄

前言 第1章緒論 1.1 外延生長 1.2 MOVPE概述 參考文獻 第2章 MOVPE生長係統 2.1 MOVPE氣體輸運分係統 2.2 MOVPE生長反應室分係統 2.3 MOVPE尾氣處理分係統 2.4 MOVPE生長控製裝置分係統 2.5 MOVPE外延層生長的原位監測 參考文獻 第3章 原材料 3.1 金屬有機化閤物源 3.2 氫化物源 參考文獻 第4章 MOVPE的熱力學分析 4.1 外延生長速度的限製機構 4.2 MOVPE生長的固溶體固相成分與氣相成分關係 4.3 MOVPE生長相圖與單凝聚相生長區 4.4 摻雜 參考文獻 第5章 MOVPE化學反應動力學和質量輸運 5.1 MOVPE化學反應動力學 5.2 MOVPE反應室內的輸運現象與模型化 5.3 MOVPE化學反應一輸運模型的應用 參考文獻 第6章 MOVPE的錶麵過程 6.1 錶麵成核 6.2 外延生長模式 6.3 MOVPE環境下的錶麵再構 6.4 錶麵活性劑 參考文獻 第7章 Ⅲ-Ⅴ族半導體材料的MOVPE生長 7.1 GaAs及其固溶體的MOVPE生長 7.2 InP、GaP及其有關化閤物的MOVPE生長 7.3 銻化物的MOVPE生長 7.4 氮化物的MOVPE生長 7.5 選擇外延生長和非平麵襯底上的外延生長 7.6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半導體的MOVPE生長 參考文獻 第8章 Ⅱ-Ⅵ族半導體材料的MOVPE生長 8.1 ZnSe及其有關化閤物的MOVPE生長 8.2 ZnO及其固溶體的MOVPE生長 8.3 HgCdTe的MOVPE生長 參考文獻 第9章 低維半導體材料的MOVPE生長 9.1 量子阱結構的MOVPE生長 9.2 量子點和量子綫結構的生長 參考文獻 第10章 MOVPE技術在半導體器件方麵的應用 10.1 發光二極管 10.2 激光器 10.3 太陽能電池 10.4 半導體光探測器 10.5 高電子遷移率場效應晶體管 10.6 異質結雙極晶體管 10.7 光電集成電路 參考文獻 後記

編輯推薦

《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用(精)》是國內本全麵係統地介紹金屬有機化閤物氣相外延(MOVPE)的專著。全書共10章：第1章概述；第2章生長係統；第3章原材料；第4章MOVPE生長熱力學和反應動力學；第5章MOVPE反應室內的輸運現象與模型化；第6章MOVPE中的錶麵過程；第7章Ⅲ-Ⅴ族化閤物半導體的MOVPE生長；第8章Ⅱ-Ⅵ族半導體的MOVPE生長；第9章低維結構的MOVPE生長；第10章MOVPE技術在器件方麵的應用。《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用(精)》反映瞭國內外該研究領域的新進展，並附有大量的參考文獻。在寫作風格上，以大學高年級學生水平為齣發點，突齣物理內容，避免冗長公式，深入淺齣。

文摘

第2章　MOVPE生成係統 　　2.1 MOVPE氣體輸運分係統 　　氣體輸運分係統的功能是嚮反應室內輸運各種反應劑，並控製其計量、送入的時間和順序以及流過反應室的總氣體流速等，以便生長特定成分與結構的外延層。氣體輸運分係統由載氣供應子係統、氫化物供應子係統、M0源供應子係統和特殊設計的生長／放空多路組閤閥等組成。 　　2.1.1 載氣供應子係統 　　載氣的作用是把反應劑輸運到反應室。載氣供應子係統包括氫氣和氮氣鋼瓶、壓力調節閥、氫氣和氮氣的提純器等。氫氣易於提純，並且具有還原性成為廣泛使用的載氣。需要注意的是H2遇空氣可能形成易燃、易爆的混閤氣。N2的作用除瞭和H2一樣作為載氣外，還利用它的惰性，在裝卸襯底、更換源瓶、或維修設備打開係統前，用氮氣置換係統中的氫氣。 　　MOVPE生長係統使用的載氣需要很高的純度。氫氣提純普遍使用鈀閤金擴散純化器，利用在300～400。C隻有氫氣能擴散通過鈀閤金的特點，將氫氣中的雜質，諸如02、H20、C0、C02、N2和所有碳氫化閤物，都降到<1ppb+。為防止工作中意外斷電導緻溫度降低損壞鈀閤金膜，一般都配備不間斷電源。另一種方法是采用高壓氮氣為動力的Verituri氣體真空發生器抽齣鈀閤金中的氫，並配閤氮氣吹掃來保護鈀閤金。純化氮氣（和惰性氣體）則采用化學和物理吸附型純化器，諸如鋯基或鎳基化學吸收型純化器。

序言

前言 第1章緒論 1.1 外延生長 1.2 MOVPE概述 參考文獻 第2章 MOVPE生長係統 2.1 MOVPE氣體輸運分係統 2.2 MOVPE生長反應室分係統 2.3 MOVPE尾氣處理分係統 2.4 MOVPE生長控製裝置分係統 2.5 MOVPE外延層生長的原位監測 參考文獻 第3章 原材料 3.1 金屬有機化閤物源 3.2 氫化物源 參考文獻 第4章 MOVPE的熱力學分析 4.1 外延生長速度的限製機構 4.2 MOVPE生長的固溶體固相成分與氣相成分關係 4.3 MOVPE生長相圖與單凝聚相生長區 4.4 摻雜 參考文獻 第5章 MOVPE化學反應動力學和質量輸運 5.1 MOVPE化學反應動力學 5.2 MOVPE反應室內的輸運現象與模型化 5.3 MOVPE化學反應一輸運模型的應用 參考文獻 第6章 MOVPE的錶麵過程 6.1 錶麵成核 6.2 外延生長模式 6.3 MOVPE環境下的錶麵再構 6.4 錶麵活性劑 參考文獻 第7章 Ⅲ-Ⅴ族半導體材料的MOVPE生長 7.1 GaAs及其固溶體的MOVPE生長 7.2 InP、GaP及其有關化閤物的MOVPE生長 7.3 銻化物的MOVPE生長 7.4 氮化物的MOVPE生長 7.5 選擇外延生長和非平麵襯底上的外延生長 7.6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半導體的MOVPE生長 參考文獻 第8章 Ⅱ-Ⅵ族半導體材料的MOVPE生長 8.1 ZnSe及其有關化閤物的MOVPE生長 8.2 ZnO及其固溶體的MOVPE生長 8.3 HgCdTe的MOVPE生長 參考文獻 第9章 低維半導體材料的MOVPE生長 9.1 量子阱結構的MOVPE生長 9.2 量子點和量子綫結構的生長 參考文獻 第10章 MOVPE技術在半導體器件方麵的應用 10.1 發光二極管 10.2 激光器 10.3 太陽能電池 10.4 半導體光探測器 10.5 高電子遷移率場效應晶體管 10.6 異質結雙極晶體管 10.7 光電集成電路 參考文獻 後記

好的，以下是一本關於納米材料的閤成、錶徵與性能的圖書簡介，旨在與您提供的《金屬有機化閤物氣相外延基礎及應用》一書內容完全區分開來： --- 納米結構材料的精妙構築與功能調控：從原理到前沿應用 導言：邁嚮物質世界的尺度革命 在二十一世紀的材料科學圖景中，納米科學與技術無疑占據著核心地位。當物質的尺寸被限製在十億分之一米量級時，其宏觀特性將發生根本性的轉變，催生齣前所未有的物理、化學和生物學效應。本書聚焦於納米結構材料的精確閤成、多維度錶徵技術以及由此衍生的尖端功能應用，力求為材料學、物理學、化學以及相關工程領域的科研人員和高年級學生提供一個全麵而深入的參考。 本書的立足點在於理解“尺度效應”如何支配材料的內在性質，並係統闡述如何通過精巧的閤成策略來“設計”所需的納米尺度形貌、尺寸分布和晶格缺陷，進而實現對宏觀功能的精準調控。 第一部分：納米材料的閤成策略與原理（構建基礎） 本部分詳盡介紹瞭當前主導納米材料閤成領域的幾大核心技術路綫，強調其背後的熱力學與動力學驅動機製。 第一章：溶液相自下而上組裝技術 本章深入探討瞭濕化學法在納米顆粒（Quantum Dots, QDs）、納米綫和納米片製備中的應用。重點剖析瞭以下幾個關鍵閤成體係： 1. 熱解/微乳液法（Hot Injection/Microemulsion）： 詳細討論瞭快速成核與受控生長（Ostwald熟化、成核限製）的動力學模型，並解析瞭錶麵配體在控製粒徑均一性中的關鍵作用。我們著重分析瞭硒化鎘（CdSe）量子點和氧化銦（In2O3）納米綫的閤成案例。 2. 溶劑熱/水熱閤成（Solvothermal/Hydrothermal）： 闡述瞭高溫高壓環境下，溶劑極性、酸堿度（pH值）對産物形貌（如一維的納米棒與二維的納米片之間的轉化）的影響機製。 3. 模闆輔助生長： 討論瞭使用無機（如多孔氧化鋁膜）或有機（如錶麵活性劑膠束）模闆，實現限域空間內納米結構形貌控製的具體操作與理論模型。 第二章：固態與氣態的界麵控製生長 本章轉嚮依賴高溫或高能輸入的閤成方法，這些方法對於製備具有高結晶度和特定界麵結構的納米材料至關重要，但側重點與氣相外延（如MOCVD）的化學氣相反應機理有所區分，更側重於物理過程或低壓下的固-液、固-氣轉變。 1. 熔融/燒結誘導的納米結構形成： 探討瞭在固相反應中，通過控製晶界遷移和燒結動力學來形成特殊孔隙結構或晶界增強的機製。 2. 磁控濺射與脈衝激光沉積（PLD）： 詳細描述瞭這兩種物理氣相沉積（PVD）技術，它們通過靶材的原子級剝離和基底上的受控再沉積來實現薄膜和納米柱的生長。重點分析瞭沉積速率、基底溫度和真空度對薄膜的應力、晶疇大小和缺陷密度的影響。 3. 電化學沉積法： 探討瞭利用電勢控製離子在電極錶麵的還原與沉積過程，特彆適用於金屬氧化物和導電聚閤物的納米結構陣列製備。 第二部分：納米材料的先進錶徵技術（揭示結構） 成功閤成的納米材料必須經過嚴格的錶徵纔能確定其結構、尺寸、錶麵化學狀態以及晶體缺陷。本部分匯集瞭現代材料科學中不可或缺的錶徵工具及其在納米尺度下的獨特應用。 第三章：高分辨成像與晶格分析 本章聚焦於成像技術，它提供瞭納米結構最直觀的形貌信息。 1. 透射電子顯微鏡（TEM/STEM）： 深入解析瞭高分辨透射電鏡（HRTEM）在解析晶格常數、缺陷（如位錯和堆垛層錯）以及原子尺度形貌方麵的能力。重點介紹瞭環形暗場掃描透射電鏡（HAADF-STEM）在進行原子序數敏感成像和元素定性分析中的優勢。 2. 掃描隧道顯微鏡（STM）與原子力顯微鏡（AFM）： 闡述瞭STM用於探測納米材料錶麵電子態的原理，以及AFM在測量錶麵粗糙度、局部力學性能（如硬度和彈性模量）和三維形貌方麵的應用。特彆關注瞭AFM在溶液中對動態組裝過程的實時監測。 第四章：光譜學與化學態分析 本章關注如何通過能量或波長轉換來探知納米材料的組成、鍵閤環境和電子結構。 1. 拉曼光譜與紅外光譜（FTIR）： 分析瞭納米材料中聲子模式的變化（如尺寸效應導緻的峰位移動和展寬），這些變化是判斷晶格應力和納米尺寸效應的有力工具。 2. X射綫光電子能譜（XPS）： 詳述瞭XPS如何用於精確測定納米材料錶麵元素的化學價態和化學環境，這是評估氧化物錶麵非化學計量比和錶麵官能團化的關鍵手段。 3. 紫外-可見-近紅外光譜（UV-Vis-NIR）： 重點討論瞭等離激元共振（SPR）現象在貴金屬納米粒子中的特徵體現，以及量子點尺寸對吸收邊和光緻發光（PL）峰位置的量子限域效應。 第三部分：納米結構的功能化與前沿應用（實現價值） 本部分將前述的閤成與錶徵知識轉化為實際應用，展示瞭功能化納米材料在能源、環境和生物醫學領域的潛力。 第五章：納米材料在光電轉換中的應用 本章探討瞭如何利用納米結構的特定光吸收和載流子傳輸特性來優化光電器件的性能。 1. 高效太陽能電池： 討論瞭基於鈣鈦礦納米晶體和量子點作為吸光層或界麵修飾層的設計策略，重點關注瞭如何通過控製顆粒間的接觸電阻和缺陷態來提高載流子分離效率。 2. 發光二極管（LEDs）： 聚焦於利用量子點實現寬色域和高色純度的顯示技術（QLED），並分析瞭錶麵鈍化對提高量子效率和器件穩定性的重要性。 第六章：催化與環境淨化中的納米優勢 納米材料因其極高的比錶麵積和豐富的錶麵活性位點，在催化領域展現齣無可比擬的優勢。 1. 異相催化劑設計： 探討瞭核殼結構、多孔網絡結構和單原子催化劑（SACs）的設計理念。例如，如何通過氧化物載體上的金屬納米顆粒之間的電子耦閤效應來提升析氫反應（HER）或氧還原反應（ORR）的活性。 2. 光催化分解汙染物： 分析瞭寬禁帶半導體（如TiO2、ZnO）納米結構的形貌控製（如納米片暴露高活性晶麵）對可見光響應和汙染物礦化效率的影響。 第七章：納米生物醫學與傳感 本章麵嚮新興的交叉學科領域，探討瞭納米材料在生命科學中的精確操控與應用。 1. 靶嚮藥物遞送係統： 闡述瞭如何通過聚閤物或脂質對無機納米顆粒（如金納米棒、氧化鐵磁性納米顆粒）進行錶麵功能化（如PEG化），以實現生物相容性、長循環時間和主動靶嚮能力。 2. 高靈敏度生物傳感： 討論瞭基於納米結構增強的電化學和光學傳感平颱，例如利用納米綫陣列提高電極的錶麵積和電子傳輸速度，從而實現對痕量生物標誌物的快速、靈敏檢測。 --- 本書特色： 本書注重理論與實踐的結閤，不僅提供瞭材料閤成的“配方”，更深入探討瞭界麵物理化學和尺度效應背後的基本原理。章節結構清晰，涵蓋瞭從基礎閤成方法到尖端功能實現的完整鏈條，是納米材料領域研究人員的有力工具書。 目標讀者： 材料科學、物理學、化學、電子工程及生物醫學工程等領域的研究生、博士後研究人員以及相關産業的技術開發人員。

評分☆☆☆☆☆

第一段評價： 這本書的裝幀和印刷質量確實讓人眼前一亮，紙張的觸感和文字的清晰度都體現瞭齣版社的專業水準。我特彆喜歡它在圖錶和公式排版上的用心，很多復雜的晶體結構和能帶圖都能清晰直觀地呈現齣來，對於初學者來說，這極大地降低瞭理解門檻。雖然我還沒來得及深入研讀每一個章節，但僅從目錄來看，它似乎覆蓋瞭從基礎理論到前沿應用的完整脈絡，這對於一個想係統學習該領域的讀者來說，無疑是一份寶貴的財富。尤其是對氣相外延過程中的各種參數控製和薄膜生長機理的探討，相信會是全書的亮點。我期待著在後續的閱讀中，能從中挖掘齣更多有助於我科研實踐的乾貨。

評分☆☆☆☆☆

第五段評價： 這本書的語言風格非常嚴謹，用詞準確到位，每一個術語的引入都似乎經過瞭深思熟慮，顯示齣作者深厚的學術積纍和對專業領域的敬畏感。與市麵上一些偏嚮科普或者過於側重單一應用的書籍不同，這本似乎緻力於構建一個完整、自洽的知識體係框架。從基礎的配位化學到復雜的半導體異質結生長，邏輯鏈條銜接得天衣無縫。這讓我相信，即便是領域內的資深研究人員，也能從中找到新的視角去審視自己手頭的問題。它所提供的知識深度，足以支撐起一篇高質量的博士論文的理論基礎部分，絕對是值得收藏的經典著作。

評分☆☆☆☆☆

第二段評價： 說實話，我一直覺得“金屬有機化閤物氣相外延”這個領域聽起來就高深莫測，充滿瞭各種復雜的化學反應和物理過程。拿到這本書後，我抱著試一試的心態翻閱瞭前幾頁，發現作者的敘述方式非常平實，沒有那種生硬的學術腔調，仿佛一位經驗豐富的老師在手把手地帶領你入門。書中對一些關鍵概念的解釋，比如ALD和MOCVD的原理差異，都有詳盡的類比和圖示輔助，這讓我的理解過程變得順暢多瞭。這種注重‘講透’而非‘堆砌’知識點的寫作風格，非常對我的胃口。我已經迫不及待想深入到具體的材料體係部分，看看作者如何剖析不同金屬有機前驅體在實際應用中的優缺點。

評分☆☆☆☆☆

第三段評價： 從一個側重於材料閤成的工程師角度來看，我更關注的是實際操作中的可重復性和工藝窗口的確定。這本書的價值可能就在於它不僅僅停留在理論層麵，而是將基礎物理化學與工程實踐緊密結閤瞭起來。我希望書中能有足夠多的篇幅探討反應腔設計、溫度梯度控製以及氣流動力學對薄膜形貌的影響。如果它能提供一些典型的“失敗案例分析”或者“常見問題排查”的章節，那就太棒瞭，因為在實際工作中，解決那些意想不到的生長缺陷往往比純粹的理論推導更耗費心神。期待這本書能成為我實驗室工具書架上不可或缺的一員，隨時可以查閱關鍵工藝點的設定依據。

評分☆☆☆☆☆

第四段評價： 這本書的結構安排似乎是為研究生量身定製的，兼顧瞭學術深度和廣度。我注意到它似乎對新型低維納米結構的外延生長也進行瞭覆蓋，這錶明作者對該領域的最新進展保持瞭高度敏感性。在閱讀一些涉及到量子效率和界麵工程的章節時，我能感受到作者在信息篩選和提煉上的功力，沒有冗餘的背景介紹，直擊核心的科學問題。這種嚴謹而高效的知識傳遞方式，對於時間寶貴的科研人員來說，是極大的效率提升。它不僅僅是一本教科書，更像是一份經過時間沉澱的、高度濃縮的行業白皮書。