MEMS材料与工艺手册

MEMS材料与工艺手册 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

林斌彦 著
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出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品编码:11489686
包装:平装
开本:16开
出版时间:2014-03-01
页数:966

具体描述

内容简介

微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

前言/序言


用户评价

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速度很快,很满意。书是好书

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真心不错,留着肯定有用。一门技巧啊

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很好,很专业

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好书。。。。。。。。。

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正版书,值得一看,快递很给力!

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还不错但是一定要十个字以上就不太好了……

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质量不错,充实的内容

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