齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966
具體描述
內容簡介
微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。前言/序言
用戶評價
評分
每本都包膜，不過外麵還是一個塑料袋，極易傷及圖書
評分有英文原版，寫得很好。買一本翻譯版對照學習
評分還不錯，速度也挺快的，印刷還好
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評分會哈會哈更會哈更會哈更
評分東西不錯
評分很不錯，紙張不錯
評分很好，很專業
評分真心不錯，留著肯定有用。一門技巧啊
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