mems材料工藝,科技書籍
評分微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。
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