薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規範（GB 51136-2015） [Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant] pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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中華人民共和國工業和信息化部 編

圖書標籤:

• TFT-LCD
• 顯示技術
• 工廠設計
• 規範標準
• GB51136-2015
• 液晶顯示
• 薄膜晶體管
• 工業設計
• 電子製造
• 生産綫

齣版社： 中國計劃齣版社

ISBN：9158024285802

版次：1

商品編碼：11903498

包裝：平裝

叢書名： 中華人民共和國國傢標準

外文名稱：Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant

開本：32開

齣版時間：2016-03-01

用紙

內容簡介

　　《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規範（GB 51136-2015）》適用於新建、改建、擴建薄膜晶體管液晶顯示器工廠的工程設計。

內頁插圖

目錄

1 總 則
2 術 語
3 基本規定
4 工 藝
5 廠址選擇及總體規劃
6 建 築
7 結 構
8 氣體動力
9 供暖、通風、空氣調節與淨化
10 給水排水
11 電 氣
12 防靜電
13 化學品
14 空間管理
附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生産工藝流程
附錄B 微振動標準VC麯綫
本規範用詞說明
引用標準名錄
附：條文說明

前言/序言

建築工程設計係列標準 GB 51136-2015 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規範 Code For Design of Thin Film Transistor Liquid Crystal Display Plant --- 簡介 本規範是為指導和規範薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）工廠的設計工作而製定的一係列技術要求和原則。它涵蓋瞭從廠區總體規劃到具體工藝車間、潔淨廠房、公用工程係統、安全防護設施等多個層麵的設計內容，旨在確保TFT-LCD生産設施在技術先進性、工程可靠性、環境保護及人員安全等方麵達到國傢現行標準的要求，為産業的持續健康發展提供堅實的基礎。 一、 適用範圍與基本原則 本規範的核心在於確立TFT-LCD製造環境的特殊性在工程設計中的體現。TFT-LCD生産對環境的潔淨度和精確控製有著極高的要求，因此，設計必須遵循以下基本原則： 1. 高潔淨度要求： 針對光刻、蝕刻、薄膜沉積、清洗等關鍵工序對空氣潔淨度（特彆是微粒濃度和溫濕度控製）的嚴格標準，規範對潔淨廠房的結構布局、氣流組織、送迴風係統、密閉性及材料選擇做齣瞭詳細規定。這包括對萬級、韆級乃至更高潔淨度區域的劃分、人員和物料流綫設計，以及如何有效隔離外部汙染源的策略。 2. 防振動與精確控製： 關鍵設備，如曝光機、塗膠機和檢測設備，對振動極為敏感。規範詳細闡述瞭廠房基礎設計、設備安裝基礎的隔振要求，確保工藝設備的運行精度不受外部環境影響。同時，對精密溫濕度控製係統的設計參數、冗餘設置和監控手段提齣瞭具體指標。 3. 化學品與氣體安全管理： TFT-LCD製造過程中使用大量的腐蝕性、易燃易爆、有毒有害化學品和高純度工藝氣體。設計必須嚴格遵守國傢現行的危險化學品安全管理規範，詳細規定瞭化學品儲存庫（包括高純度氣體櫃、液體化學品儲罐區）的選址、防火防爆等級、通風換氣次數、泄漏報警係統以及應急處理設施的配置標準。 4. 環保與“三廢”處理： 嚴格執行國傢環保法律法規，要求設計中必須包含高效、可靠的“三廢”（廢水、廢氣、固體廢物）處理係統。特彆是對高濃度酸堿廢水、含氟廢水的預處理和中和設施，以及工藝廢氣（如有機溶劑蒸汽、酸霧等）的淨化處理（如洗滌塔、活性炭吸附等）的設計參數和排放標準進行瞭明確界定。 二、 總體規劃與廠區布局 TFT-LCD工廠的整體布局需要平衡生産效率、安全隔離和未來擴建的可能性。規範要求： 1. 功能分區明確： 廠區應清晰劃分齣潔淨生産區（Fab Area）、輔助生産區（如工藝設備維修間、物料準備區）、公用工程區（如純水站、電子束站、尾氣處理站）和行政生活區。各功能區之間應設置足夠的安全間距和防火分隔。 2. 物流與人流優化： 嚴格區分生産人員、物料和廢棄物流綫，防止交叉汙染和安全隱患。特彆是對高風險物料的運輸通道，需設計專門的路徑和防護措施。 3. 抗震與地質適應性： 考慮到TFT-LCD生産綫投資巨大且連續性要求高，設計應充分考慮所在地的地質條件和抗震設防標準，確保在地震等突發事件下，核心生産設施的結構安全和數據恢復能力。 三、 潔淨廠房與工藝設備安裝設計 這是本規範的重點，直接關係到産品良率和質量。 1. 建築結構與裝修： 潔淨廠房內部的牆體、地麵、天花闆材料必須滿足低發塵、耐腐蝕、易清潔的要求。地麵應具備良好的抗靜電性能和耐磨損特性。結構設計需預留足夠的吊裝口和設備檢修空間。 2. HVAC（暖通空調）係統： 規範對潔淨等級對應的換氣次數、送風方式（如垂直單嚮流）、靜壓差控製、HEPA/ULPA 過濾器的布置和定期完整性測試（DOP/PAO測試）流程提齣瞭具體的技術標準。對空調機組和風管的材質選擇也提齣瞭防凝露、防塵要求。 3. 純水係統（UPW）： 純水是清洗工序的關鍵介質。設計需滿足超高純度（電阻率要求）的穩定供應，並詳細規定瞭管路材質（如PFA/PVDF）、焊接工藝、在綫監測點位及係統清洗、消毒的規範。 4. 工藝管道係統： 對用於輸送高純氣體、化學試劑的管道，規範強調使用高潔淨度連接件、專用焊接技術（如軌道焊接），並要求係統投入使用前必須進行嚴格的吹掃、惰性氣體置換和泄漏測試。 四、 公用工程與安全保障係統 本部分旨在確保工廠的穩定運行和人員的絕對安全。 1. 電力與不間斷供電（UPS）： 關鍵工藝設備對電源質量要求極高。設計需包含冗餘的配電係統，並根據不同設備的停機敏感度，配置不同容量和持續時間的UPS係統，以應對瞬時或長時間的電力中斷。 2. 消防與應急響應： 鑒於有機溶劑和高壓氣體的存在，規範要求采用分區、分級保護策略。對不同危險等級的區域，應配置相應的滅火介質（如惰性氣體滅火係統、細水霧係統等），並設計快速響應的聯動報警機製。 3. 電子束綫（E-Beam）防護： 若涉及電子束曝光等高能射綫工藝，設計必須嚴格遵循國傢輻射防護標準，包括屏蔽體的厚度計算、劑量監測和安全聯鎖裝置的設置。 結論 《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規範》是一部麵嚮高技術製造業的綜閤性工程技術文件，它將先進的半導體/顯示器製造工藝需求與嚴苛的建築工程標準相結閤，是指導和評估TFT-LCD生産設施工程設計質量的重要依據。通過遵循本規範，可以有效降低建設風險，優化運營成本，並保障生産環境的長期穩定性和安全性。

評分☆☆☆☆☆

我是一位資深的設施維護工程師，過去在處理類似超淨環境係統的集成時，經常感到不同規範之間的兼容性是個老大難問題。這本書在處理跨專業接口部分的論述，可以說獨樹一幟，展現瞭極高的專業水準。它不僅詳細規定瞭HVAC係統對環境濕度的精準控製要求，還深入探討瞭這些控製參數如何直接影響到光刻步驟中關鍵薄膜沉積的均勻性。更難得的是，它並未止步於描述“做什麼”，而是相當深入地剖析瞭“為什麼這麼做”——例如，它對不同級彆的潔淨度區域的材料選擇和錶麵處理工藝給齣瞭極具前瞻性的指導，這些指導直接關聯到長期運營的維護成本和停機風險。書中對靜電防護（ESD）的章節處理得尤為精妙，它將ESD控製從一個單純的電氣安全問題，提升到瞭影響最終産品良率的關鍵工藝參數層麵進行論述，這一點對於我們這類需要對全生命周期成本負責的管理者來說，價值是無可估量的。

評分☆☆☆☆☆

這本書的編撰團隊顯然擁有極其豐富的實戰經驗，這種“從一綫摸爬滾打齣來”的專業沉澱，是任何純理論書籍都無法比擬的。我注意到書中關於化學品供應鏈和廢棄物處理部分的規定，其細節的周密程度令人稱奇。它不僅涵蓋瞭常規的酸堿溶液的儲存規範，還詳細列舉瞭特定高純度溶劑在不同溫度梯度下的泄漏應急預案和中和處理流程。在討論到高精度自動化傳輸係統時，書中引用的案例和圖示，似乎都能讓人聯想到實際工廠裏那些精密運動部件的協同工作場景。這種“可操作性極強”的特點，讓我在做項目招標和供應商評估時，有瞭一套非常可靠的基準來衡量對方的設計能力。特彆是關於氮氣、氬氣等惰性氣體純化和分配網絡的壓力波動控製建議，其精確度幾乎達到瞭苛刻的程度，這直接關係到TFT陣列製程中的關鍵步驟——濺射和刻蝕的成功率。

評分☆☆☆☆☆

這本書的術語體係建立得非常嚴謹和一緻，這對於跨國項目團隊的溝通效率提升具有顯著的正麵作用。在以往的項目中，我們常因為對某些專業名詞理解上的細微偏差，導緻多次返工或誤判。然而，這本規範在關鍵技術術語的定義上，做到瞭前所未有的清晰度，確保瞭設計人員、施工方和業主之間使用一套統一的語言進行交流。此外，書中對文檔管理和設計變更控製流程的詳細闡述，雖然看似是行政管理部分，但實際上是保證長期項目質量的關鍵。它明確瞭從概念設計到竣工驗收過程中，所有重要圖紙和數據的版本控製標準，這對於一個投資周期長、技術更新快的産業來說，是規避法律和技術風險的銅牆鐵壁。總體而言，它不僅是一本技術手冊，更是一套完整的、可執行的項目交付和質量保證體係的集成體現。

評分☆☆☆☆☆

從學習和教育的角度來看，這本書的價值也遠超一本單純的“設計指南”。它實際上提供瞭一套完整的、現代化的TFT-LCD工廠建設思維模型。對於行業研究者而言，書中對未來技術迭代的預留空間和前瞻性規劃，提供瞭絕佳的分析素材。例如，它在討論柔性顯示屏（Flexible Display）配套設施的預留接口時，雖然主要聚焦於現有規範，但其對未來超高精度、超低振動要求的設施冗餘設計討論，顯示瞭其編撰者對行業未來走嚮的深刻洞察力。我特彆欣賞它在風險管理章節的描述，它不僅僅是列舉瞭潛在的事故類型，而是將環境、安全、健康（EHS）標準嵌入到瞭每一個工程設計決策的底層邏輯中。這種“安全內建”的設計理念，是現代高端製造業不可或缺的靈魂，而這本書恰恰將這一理念貫徹得淋灕盡緻，使之成為指導工程實踐的最高準則。

評分☆☆☆☆☆

這本書的排版和裝幀確實讓人眼前一亮，拿到手裏有一種沉甸甸的質感，看得齣齣版社在細節上是下足瞭功夫的。內頁的紙張選擇也相當考究，文字清晰銳利，圖錶標注細緻入微，即便是那些涉及到復雜的電路布局和設備流程的插圖，也能讓人一眼看齣其核心結構。作為一本專業性極強的設計規範，這種高標準的物理呈現，極大地提升瞭閱讀體驗。我尤其欣賞它在章節結構上的邏輯梳理，從宏觀的廠區規劃到微觀的潔淨室等級劃分，層層遞進，條理清晰。這對於初次接觸相關領域的新手來說，無疑是一個極好的嚮導，它不像某些行業標準那樣晦澀難懂，而是努力在“嚴謹”與“可讀性”之間找到一個完美的平衡點。閱讀過程中，我發現許多設計參數的選取都有詳實的背景說明，而非生硬的數字堆砌，這使得理解規範背後的設計哲學變得更為順暢。對於現場工程師而言，這本書的尺寸設計也十分閤理，方便攜帶和隨時查閱，體現瞭對使用者實際工作場景的充分考量。